[实用新型]一种半导体芯片生产用浸没式光刻机

权利要求书

1.一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括有操作台(1)，其特征在于，所述操作台(1)的两侧分别安装有升降机(2)，所述升降机(2)的顶端连接有轨架(3)，所述轨架(3)上安装有移动机(4)，所述移动机(4)的底部设有动力泵(5)，所述动力泵(5)的两端分别连接有连接块(6)，所述连接块(6)的内部设有缓冲弹簧(7)，所述缓冲弹簧(7)的一侧安装有压力感应器(8)，所述缓冲弹簧(7)的另一侧设有限位杆(9)，所述限位杆(9)的另一侧连接有夹持板(10)，所述夹持板(10)之间夹持有硅片(11)，所述动力泵(5)的正面安装有警报器(12)，所述操作台(1)上安装有位于轨架(3)下方的底座(13)，所述底座(13)上安装有检测头(14)，所述操作台(1)的侧面安装有控制面板(15)；

所述操作台(1)的右侧安装有清洗箱(16)，所述清洗箱(16)的下方设有电机(17)，所述电机(17)的顶部连接有转轴(18)，所述转轴(18)上和清洗箱(16)和内壁上均设有毛刷(19)，所述清洗箱(16)的一侧设有排水口(20)，所述排水口(20)上插装有挡板(21)，所述挡板(21)的外侧设有烘干箱(22)，所述烘干箱(22)的下部安装有滤板(23)，所述烘干箱(22)的侧面安装有位于滤板(23)上方的热风机(24)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述操作台(1)的内部放有位于烘干箱(22)下方的污水箱(101)，所述污水箱(101)上连接有排水管。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述动力泵(5)的两端设有伸缩杆(51)，且伸缩杆(51)的底部位于同一水平线上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述限位杆(9)为T形结构，且限位杆(9)与连接块(6)相卡接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述控制面板(15)分别电性连接移动机(4)、动力泵(5)、电机(17)和热风机(24)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述清洗箱(16)上开设有进水口(161)，且清洗箱(16)的底部半嵌入操作台(1)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，其特征在于，所述排水口(20)的侧边设有密封圈(201)，且密封圈(201)设于清洗箱(16)的内外两侧上。