[实用新型]晶圆盒全自动夹持装置

权利要求书

1.晶圆盒全自动夹持装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体（2），所述驱动壳体（2）上枢轴设有夹持轴（3），所述夹持轴（3）上设有用以将晶圆盒（100）夹持的夹持件（4），所述夹持轴（3）可由设置在所述驱动壳体（2）内的驱动组件（5）驱动其相向或相背转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动组件（5）包括固设在所述驱动壳体（2）内的驱动气缸（51），所述驱动气缸（51）的气缸轴上固设有一驱动板（52），所述驱动板（52）同一侧的两端均固设有一驱动轴（53），所述驱动轴（53）远离所述驱动板（52）的端侧固设有圆台（54）；所述夹持轴（3）上固设有一固定块（55），所述固定块（55）上固设有导向柱（56），所述导向柱（56）上套设有一旋转轴承（57），所述旋转轴承（57）的外圈与可与所述圆台（54）的外表面紧贴。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动板（52）上还设有导向销（521），所述导向销（521）位于所述驱动气缸（51）和夹持轴（3）之间；所述驱动气缸（51）的两侧设有延伸部（511），所述延伸部（511）上设有可容置所述导向销（521）的导向孔（512）。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动壳体（2）还设有红外传感器（21），所述固定块（55）上固设有一挡板（551），所述挡板（551）可置于所述红外传感器（21）的感应槽（211）内。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动壳体（2）上还固设有一定位柱（22），所述定位柱（22）上套设有定位弹簧（221），所述定位弹簧（221）的两端分别按压于套设在所述定位柱（22）上的定位块（222）上，所述定位块（222）上开设有与所述固定块（55）外轮廓相匹配的定位槽（223）。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述夹持件（4）至少包括通过螺栓固设在所述夹持轴（3）上的连接块（41），所述连接块（41）上固设有连接板（42），所述连接板（42）上固设有夹持块Ⅰ（43）和夹持块Ⅱ（44），所述夹持块Ⅰ（43）和夹持块Ⅱ（44）之间设有与所述晶圆盒（100）边沿相适配的间隙（45）。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述夹持轴（3）远离所述驱动组件（5）的一端枢轴设有限位板（31），所述限位板（31）的两端开设有与所述夹持轴（3）相适配的限位孔（33），所述夹持轴（3）与所述限位板（31）之间通过轴承连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上枢轴设有一传动丝杆（11），所述传动丝杆（11）上设有与其为丝杆传动的传动螺母（12），所述传动螺母（12）上固设有一立柱（13），所述驱动壳体（2）固设在所述立柱（13）上。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述传动丝杆（11）的两侧设有滑轨（14），所述滑轨（14）上设有与其适配的滑块（15），所述滑块（15）与所述传动螺母（12）固接。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上还固设有一驱动电机（16），所述驱动电机（16）的电机轴上固设有主动轮（17），所述传动丝杆（11）的一端固设有一从动轮（18），所述从动轮（18）与所述主动轮（17）之间通过皮带（19）传动。