[实用新型]一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器有效

专利信息
申请号: 202021685243.0 申请日: 2020-08-13
公开(公告)号: CN213455880U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 朱磊;魏冬;周晓瑜 申请(专利权)人: 无锡芯奥微传感技术有限公司
主分类号: G01J5/14 分类号: G01J5/14;B81C3/00
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 邓凌云
地址: 214101 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 csp 封装 工艺 mems 红外 测温 传感器
【权利要求书】:

1.一种基于CSP封装工艺MEMS红外测温传感器,其特征在于:包括PCB基材(1),所述PCB基材(1)上设置有MEMS热电堆(2)、NTC电阻(3)、阻容(4)和ADC(5),所述ADC(5)用于将MEMS热电堆(2)的电压信号转换为数字信号,所述PCB基材(1)外套设有树脂外壳(6),所述树脂外壳(6)上开设有位于MEMS热电堆(2)的正上方的开口,所述树脂外壳(6)嵌设有覆盖开口的长通红外透镜(7)。

2.根据权利要求1所述的一种基于CSP封装工艺MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述ADC(5)内包含有参考电压输出、多路转换器、4-64X可编程运算放大器、24位数模转换、数字滤波器和DSP,所述ADC(5)支持12C和SPI接口。

3.根据权利要求2所述的一种基于CSP封装工艺MEMS红外测温传感器,其特征在于:所述NTC电阻(3)和ADC(5)通过银胶固定在PCB基材(1)上,所述长通红外透镜(7)通过胶水固定在树脂外壳(6)上。

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