[实用新型]一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器有效
申请号: | 202021685243.0 | 申请日: | 2020-08-13 |
公开(公告)号: | CN213455880U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 朱磊;魏冬;周晓瑜 | 申请(专利权)人: | 无锡芯奥微传感技术有限公司 |
主分类号: | G01J5/14 | 分类号: | G01J5/14;B81C3/00 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 邓凌云 |
地址: | 214101 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 csp 封装 工艺 mems 红外 测温 传感器 | ||
本实用新型涉及一种红外测温传感器,具有功能集成、应用场景广泛的效果。本实用新型公开了一种基于CSP封装工艺MEMS红外测温传感器,包括PCB基材,所述PCB基材上设置有MEMS热电堆、NTC电阻、阻容和ADC,所述ADC用于将MEMS热电堆的电压信号转换为数字信号,所述PCB基材外套设有树脂外壳,所述树脂外壳上开设有位于MEMS热电堆的正上方的开口,所述树脂外壳嵌设有覆盖开口的长通红外透镜。借助CSP封装技术和ADC的配合,实现了ADC和MEMS热电堆的一体化设置,扩大了红外测温传感器的适用范围。
技术领域
本实用新型涉及一种红外测温传感器,更具体地说,它涉及一种基于CSP 封装工艺MEMS红外测温传感器。
背景技术
非接触式红外测温也叫辐射测温,一般使用热电型或光电探测器作为检测元件。此温度测量系统比较简单,可以实现大面积的测温,也可以是被测物体上某一点的温度测量。
目前红外传感器采用TO46封装方式仅有单一测温功能,内部仅包含MEMS 热电堆芯片,NTC电阻做温度补偿,5.5um长通滤光片,只能输出模拟信号,抗干扰能力差,客户端仍需外加ADC做模数转换,增加成本及硬件设计难度,部分应用场景空间受限。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种基于CSP封装工艺MEMS红外测温传感器,具有功能集成、应用场景广泛的效果。
为实现上述技术目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种基于CSP封装工艺MEMS红外测温传感器,包括PCB基材,所述PCB基材上设置有MEMS热电堆、NTC电阻、阻容和ADC,所述ADC用于将MEMS热电堆的电压信号转换为数字信号,所述PCB基材外套设有树脂外壳,所述树脂外壳上开设有位于MEMS 热电堆的正上方的开口,所述树脂外壳嵌设有覆盖开口的长通红外透镜。
通过采用上述技术方案,MEMS热电堆由多个热电偶组成,当传感器检测范围内红外光照射温度有一定值变化时,热电偶产生电荷,即在两电极之间产生微弱电压差。MEMS热电堆传感器检测到变化的温度,经光电转换后,变成了一个电压信号,经ADC转换成数字信号供后端MCU做算法处理。将ADC直接做在 PCB基材上,不需要客户端额外加ADC,提高了红外测温传感器的灵活性,提高了适用范围。
作为优选,所述ADC内包含有参考电压输出、多路转换器、4-64X可编程运算放大器、24位数模转换、数字滤波器和DSP,所述ADC支持12C和SPI接口。
通过采用上述技术方案,借助转换器、放大器和滤波器的配合,对MEMS热电堆传递的电信号依次进行放大、转换和过滤操作,避免环境对测温的影响,保证了传感器输出信号的一致性,提高了测温精度。
作为优选,所述NTC电阻和ADC通过银胶固定在PCB基材上,所述长通红外透镜通过胶水固定在树脂外壳上。
通过采用上述技术方案,借助胶水来固定住PCB基材上的电子元器件,保证了结构稳固性,提高了传感器的使用寿命。
综上所述,本实用新型取得了以下效果:
1.借助CSP封装技术和ADC的配合,实现了ADC和MEMS热电堆的一体化设置,扩大了红外测温传感器的适用范围;
2.借助ADC内的校准电路,实现了传感器信号的统一和精度高。
附图说明
图1为本实施例中用于表现整体结构的示意图;
图2为本实施例中用于表现整体控制过程的示意图;
图3为本实施例中用于表现ADC内校准电路的示意图。
图中,1、PCB基材;2、MEMS热电堆;3、NTC电阻;4、阻容;5、ADC;6、树脂外壳;7、长通红外透镜。
具体实施方式
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