[实用新型]晶粒自动裂片机有效
申请号: | 202021690157.9 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN212434589U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 高波;聂文新 | 申请(专利权)人: | 昆山康达斯机械设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/78 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶粒 自动 裂片 | ||
1.晶粒自动裂片机,包括机架(1),其特征在于,所述机架(1)上依次设置有碾压装置(2)、麦拉纸取料组件(3)以及上料装置(4),且机架(1)上固定安装有溶剂压力桶(5),机架(1)上还转动安装有裂片平台(6);
所述碾压装置(2)包括第一滑动座(21),第一滑动座(21)滑动设置在机架(1)上,第一滑动座(21)的一侧通过滑动设置有碾压板,碾压板的底部装设有裂片滚轴(23),且碾压板的顶部设有裂片碾压压力调节模组(22);
所述麦拉纸取料组件(3)包括第二滑动座(31),第二滑动座(31)上固定安装有麦拉纸取料手臂(32),所述麦拉纸取料手臂(32),所述麦拉纸取料手臂(32)上安装有真空吸盘,且麦拉纸取料手臂(32)上设有溶剂喷头(33);
所述上料装置(4)包括四轴机械手(41)、单双片检测传感器(43)以及拍照CCD(44),所述四轴机械手(41)的活动部固定安装有取料吸盘(42),所述单双片检测传感器(43)和拍照CCD(44)均安装在机架(1)上;
所述裂片平台(6)与碾压装置(2)的中心在同一轴线上,所述麦拉纸取料组件(3)与裂片平台(6)的中心也在同一轴线上,所述碾压装置(2)与麦拉纸取料组件(3)垂直分布,所述上料装置(4)位于裂片平台(6)的一侧。
2.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述单双片检测传感器(43)与拍照CCD(44)电性连接。
3.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述机架(1)上分别安装有第一导轨和第二导轨,所述第一滑动座(21)和第二滑动座(31)的底部分别通过螺丝固定有第一滑块和第二滑块,所述第一滑块和第二滑块分别与第一导轨和第二导轨滑动连接。
4.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述第一滑动座(21)的一侧开设有燕尾槽,所述碾压板与燕尾槽滑动连接。
5.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述裂片碾压压力调节模组(22)包括连接板、压力表以及伺服滑台装置,所述伺服滑台装置安装在第一滑动座(21)上,所述连接板滑动装配在伺服滑台装置上,且连接板与所述碾压板固定连接,所述压力表的活动端与所述连接板固定连接。
6.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述第一滑动座(21)的后侧固定连接有卸料回收盒(24)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造