[实用新型]晶粒自动裂片机有效

专利信息
申请号: 202021690157.9 申请日: 2020-08-14
公开(公告)号: CN212434589U 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 高波;聂文新 申请(专利权)人: 昆山康达斯机械设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/78
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 晶粒 自动 裂片
【权利要求书】:

1.晶粒自动裂片机,包括机架(1),其特征在于,所述机架(1)上依次设置有碾压装置(2)、麦拉纸取料组件(3)以及上料装置(4),且机架(1)上固定安装有溶剂压力桶(5),机架(1)上还转动安装有裂片平台(6);

所述碾压装置(2)包括第一滑动座(21),第一滑动座(21)滑动设置在机架(1)上,第一滑动座(21)的一侧通过滑动设置有碾压板,碾压板的底部装设有裂片滚轴(23),且碾压板的顶部设有裂片碾压压力调节模组(22);

所述麦拉纸取料组件(3)包括第二滑动座(31),第二滑动座(31)上固定安装有麦拉纸取料手臂(32),所述麦拉纸取料手臂(32),所述麦拉纸取料手臂(32)上安装有真空吸盘,且麦拉纸取料手臂(32)上设有溶剂喷头(33);

所述上料装置(4)包括四轴机械手(41)、单双片检测传感器(43)以及拍照CCD(44),所述四轴机械手(41)的活动部固定安装有取料吸盘(42),所述单双片检测传感器(43)和拍照CCD(44)均安装在机架(1)上;

所述裂片平台(6)与碾压装置(2)的中心在同一轴线上,所述麦拉纸取料组件(3)与裂片平台(6)的中心也在同一轴线上,所述碾压装置(2)与麦拉纸取料组件(3)垂直分布,所述上料装置(4)位于裂片平台(6)的一侧。

2.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述单双片检测传感器(43)与拍照CCD(44)电性连接。

3.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述机架(1)上分别安装有第一导轨和第二导轨,所述第一滑动座(21)和第二滑动座(31)的底部分别通过螺丝固定有第一滑块和第二滑块,所述第一滑块和第二滑块分别与第一导轨和第二导轨滑动连接。

4.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述第一滑动座(21)的一侧开设有燕尾槽,所述碾压板与燕尾槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述裂片碾压压力调节模组(22)包括连接板、压力表以及伺服滑台装置,所述伺服滑台装置安装在第一滑动座(21)上,所述连接板滑动装配在伺服滑台装置上,且连接板与所述碾压板固定连接,所述压力表的活动端与所述连接板固定连接。

6.根据权利要求1所述的晶粒自动裂片机,其特征在于,所述第一滑动座(21)的后侧固定连接有卸料回收盒(24)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山康达斯机械设备有限公司,未经昆山康达斯机械设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021690157.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top