[实用新型]一种测试分选装置有效
申请号: | 202021691746.9 | 申请日: | 2020-08-13 |
公开(公告)号: | CN212856708U | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 梁猛;赵凯;卢升;林海涛 | 申请(专利权)人: | 技感半导体设备(南通)有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38 |
代理公司: | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人: | 张坚 |
地址: | 226000 江苏省南通市开发区苏通科技产业园江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 分选 装置 | ||
本实用新型公开了一种测试分选装置,包括待测流道、测试流道、良品流道、不良品流道,待测流道前端设有待测满料托盘载仓,后端设有空盘卸载仓;良品流道前端设有良品满料托盘卸载仓,后端设有空盘装载仓;测试流道的输送机构上设有下测试座,下测试座上具有数个芯片测试凹槽,测试流道后端设有相匹配的下压测试机构;不良品流道的输送机构上设有存放不良品的托盘;各流道上方还横跨有一横梁,横梁前后两侧分设有一能够沿横梁移动的芯片吸取机构。通过多流道设计及前后侧芯片吸取机构各司其职,能够高效有序的实现芯片的测试分选。
技术领域
本实用新型属于芯片测试封装设备、具体涉及一种测试分选装置。
背景技术
在半导体的芯片测试封装工艺中,需要将整盘的芯片逐一从托盘中取出并送至测试机构中测试,测试完毕后再从测试机构中取出并根据测试结果进行分选,将良品和不良品分别置于相应的托盘内,然而,由于实际芯片的规格有很多,托盘相应的规格也有变化,如何适用于各种规格的托盘且优化布局,有效提高分选效率,是目前迫切需要解决的问题。
另外,还有一类图像传感器的芯片,在进行功能测试的同时还需要高温加热,以及对产品锡球面外观缺陷检查,并根据最终的测试及检查结果进行分类。为了避免在做完功能类的测试后,还需要另外放到单独的视觉检查机器上再来一次检查与筛选,增加芯片损伤或污染的风险,需要将加温、测试、视觉检查缺陷三个功能融合在一台装置上,这对设备如何合理布局、有效分选效率提出了更高要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种测试分选装置,通过合理布局,能够实现测试芯片的有序分选效果。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下的技术方案:
一种测试分选装置,包括依次排列且均具有输送机构的待测流道、测试流道、良品流道、不良品流道,待测流道前端设有待测满料托盘载仓,后端设有空盘卸载仓;良品流道前端设有良品满料托盘卸载仓,后端设有空盘装载仓;测试流道的输送机构上设有下测试座,下测试座上具有数个芯片测试凹槽,测试流道后端设有相匹配的下压测试机构;不良品流道的输送机构上设有存放不良品的托盘;各流道上方还横跨有一横梁,横梁前后两侧分设有一能够沿横梁移动的芯片吸取机构。
所述芯片吸取机构包括数个固定在安装板上的吸取头、独立升降机构、整体升降机构,吸取头的间距与芯片测试凹槽的间距相同,每个吸取头均具有一独立升降机构,整体升降机构与安装板相连。
所述独立升降机构为分设于各吸取头上端并固定于安装板上的气缸。
所述整体升降机构包括升降电机、传动机构、丝杠组件、导向杆组件,传动机构包括分设于升降电机轴和丝杠上端的一对皮带轮,丝杠组件的滑块与导向组件的滑块之间通过连接块相连并通过连接块与安装板相连。
所述横梁两侧上还分别布设有与芯片吸取机构相对应的横移机构。
所述横移机构采用线性模组,且横梁前侧的横移机构跨设于待测流道与测试流道上,横梁后侧的横移机构跨设于良品流道与不良品流道上。
所述下测试座内部设有数个加热棒及温度感应器。
还包括芯片视觉检查装置,设于测试流道与良品流道之间且位于后侧的芯片吸取机构的移动路径下方。
所述待测流道与良品流道内的输送机构均包括轨道、设于轨道内的飞梭机构,飞梭机构包括梭车及驱动梭车往返的线性模组。
所述测试流道内的输送机构采用线性模组,所述不良品流道内的输送机构包括线性模组及设于线性模组两侧的辅助滑轨。
采用本实用新型的一种测试分选装置,具有以下几个优点:
1、设计了待测流道、测试流道、良品流道、不良品流道等多个不同流道,通过横梁前后侧设置的一对芯片吸取机构,对芯片进行分别提取和放置,设计合理,作业有序。
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