[实用新型]连续式真空加热设备

权利要求书

1.一种连续式真空加热设备，适用于对至少一个电路板进行热处理，其特征在于：所述连续式真空加热设备包含：

进料舱，适用于供所述电路板从外部移入其中，并能受控调节内部压力值；

真空加热舱，连通所述进料舱，并能让所述进料舱中的所述电路板移载于内，所述真空加热舱能受控调节内部压力值，且所述真空加热舱包括至少两个温度相异的加热段；及

出料舱，连通所述真空加热舱，并能让所述真空加热舱中的所述电路板移载于内，所述出料舱能受控调节内部压力值，

其中，所述进料舱会在环境压力下供所述电路板从外部移入，并在真空压力下让所述电路板移载至所述真空加热舱；所述真空加热舱会在真空压力下于所述加热段依序进行所述电路板的热处理；所述出料舱会在真空压力下供所述电路板从所述真空加热舱移入，并在环境压力下让所述电路板移出至外部。

2.根据权利要求1所述的连续式真空加热设备，其特征在于：所述出料舱包括出料舱体与连通所述出料舱体的进气装置，所述进气装置用于向所述出料舱体通入非活性气体。

3.根据权利要求2所述的连续式真空加热设备，其特征在于：所述进气装置为氮气产生机，用于向所述出料舱体通入氮气。

4.根据权利要求1所述的连续式真空加热设备，其特征在于：还包含输送系统，所述输送系统包括至少一个输送机模块，所述输送机模块具有数个输送机，所述输送机适用于承载且运送所述电路板，使所述电路板沿输送方向移动，所述输送机分别设置于所述进料舱内、所述真空加热舱内与所述出料舱内，设置于所述进料舱内的所述输送机能使所述电路板沿所述输送方向移载至设置于所述真空加热舱内的所述输送机，设置于所述真空加热舱内的所述输送机能使所述电路板沿所述输送方向移载至设置于所述出料舱内的所述输送机。

5.根据权利要求4所述的连续式真空加热设备，其特征在于：还包含邻近所述进料舱的进料暂存区，及邻近所述出料舱的出料暂存区，所述输送机还分别设置于所述进料暂存区与所述出料暂存区，设置于所述进料暂存区的所述输送机的位置对应设置于所述进料舱内的所述输送机的位置，能使承载于所述进料暂存区的所述输送机的所述电路板沿所述输送方向移载至设置于所述进料舱内的所述输送机，设置于所述出料暂存区的所述输送机的位置对应设置于所述出料舱内的所述输送机的位置，能使设置于所述出料暂存区的所述输送机承接来自于所述出料舱内的所述输送机所移载的所述电路板。

6.根据权利要求5所述的连续式真空加热设备，其特征在于：所述输送系统还包括至少一个框架，所述框架呈直立板状，且适用于承载所述电路板，并可移离地衔接于所述输送机模块，所述框架具有直立的框架本体、形成于所述框架本体的两相反面的第一板面与第二板面、至少一个贯穿所述第一板面与所述第二板面的置板口，及至少一个连接于所述框架本体且邻近所述置板口的夹持组件，所述夹持组件适用于固定所述电路板于所述置板口，所述夹持组件的数目对应所述置板口的数目，其中，当所述框架适用于承载所述电路板于所述真空加热舱中进行热处理时，所述真空加热舱通过所述置板口使所述电路板的两相反面能同时加热。

7.根据权利要求6所述的连续式真空加热设备，其特征在于：所述输送系统还包括设置于所述进料暂存区且邻近设置于所述进料暂存区的所述输送机的进料机械手臂，及设置于所述出料暂存区且邻近设置于所述出料暂存区的所述输送机的出料机械手臂，所述进料机械手臂用于将所述电路板装载于所述框架，所述出料机械手臂用于将所述电路板自所述框架上取下。