[实用新型]激光加工晶圆转运精密定位机构

权利要求书

1.激光加工晶圆转运精密定位机构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；其特征在于：所述晶圆夹持机构设置与晶圆托盘一端接触夹持挡片、夹持挡片上设置夹持挡片压力传感器，夹持挡片压力传感器的测量面与夹持挡片接触晶圆托盘的外表面平齐。

2.根据权利要求1所述激光加工晶圆转运精密定位机构，其特征在于：所述上夹持板前端部分设置向下的夹持挡片，下夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片下端伸入挡片避让槽。

3.根据权利要求2所述激光加工晶圆转运精密定位机构，其特征在于：所述夹持挡片设置在上夹持板前端部分的两侧，下夹持板上的挡片避让槽上下贯通且其中侧面开口。

4.根据权利要求2所述激光加工晶圆转运精密定位机构，其特征在于：所述上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧；上夹持板和下夹持板夹空状态下，夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触；上夹持板上设置夹持板位移传感器，下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。

5.根据权利要求4所述激光加工晶圆转运精密定位机构，其特征在于：所述晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板，夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上，上夹持板后端设置夹持气缸避让槽，夹持气缸设置在夹持气缸避让槽内，夹持气缸的活塞头连接夹持气缸滑块、夹持气缸滑块和夹持气缸外表面的导轨构成导轨滑块连接副；下夹持板固定在夹持气缸滑块上；夹持板位移传感器位于上夹持板侧边、夹持板位移检测条一端固定在夹持气缸滑块上。

6.根据权利要求1所述激光加工晶圆转运精密定位机构，其特征在于：所述下夹持板前端部分向上设置夹持挡片，上夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片上端伸入挡片避让槽。