[实用新型]激光加工晶圆转运精密定位机构

说明书

本实用新型提供一种可以检测夹持位置是否准确的激光加工晶圆转运精密定位机构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；所述晶圆夹持机构设置与晶圆托盘一端接触夹持挡片、夹持挡片上设置夹持挡片压力传感器，夹持挡片压力传感器的测量面与夹持挡片接触晶圆托盘的外表面平齐。夹持挡片压力传感器检测晶圆托盘前后方向是否到位。检测到位后，夹持气缸开始动作进行夹持。

技术领域

本实用新型属于晶圆激光加工领域，具体涉及一种激光加工晶圆转运精密定位机构。

背景技术

晶圆激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并移动到切割平台。晶圆夹持机构包括上夹持板和下夹持板；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连。夹持气缸带动上、下夹持板夹持或者松开。夹持过程中，托盘晶圆初始位置和晶圆夹持机构运动过程可以都会有一定的位移误差，为了保证后续加工的精度，要保证晶圆夹持机构和晶圆托盘夹持状态下的位置精确。需要一种检测托盘晶圆在晶圆夹持机构中的夹持位置是否精确的机构。

实用新型内容

本实用新型提供一种可以检测夹持位置是否准确的激光加工晶圆转运精密定位机构。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：激光加工晶圆转运精密定位机构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；所述晶圆夹持机构设置与晶圆托盘一端接触夹持挡片、夹持挡片上设置夹持挡片压力传感器，夹持挡片压力传感器的测量面与夹持挡片接触晶圆托盘的外表面平齐。

上夹持板前端部分设置向下的夹持挡片，下夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片下端伸入挡片避让槽。

夹持挡片设置在上夹持板前端部分的两侧，下夹持板上的挡片避让槽上下贯通且其中侧面开口。

上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧；上夹持板和下夹持板夹空状态下，夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触；上夹持板上设置夹持板位移传感器，下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。

晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板，夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上，上夹持板后端设置夹持气缸避让槽，夹持气缸设置在夹持气缸避让槽内，夹持气缸的活塞头连接夹持气缸滑块、夹持气缸滑块和夹持气缸外表面的导轨构成导轨滑块连接副；下夹持板固定在夹持气缸滑块上；夹持板位移传感器位于上夹持板侧边、夹持板位移检测条一端固定在夹持气缸滑块上。

下夹持板前端部分向上设置夹持挡片，上夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片上端伸入挡片避让槽。

本实用新型的有益效果是：夹持挡片能够定位晶圆托盘在晶圆夹持机构的夹持区域的前后位置，夹持挡片压力传感器保证晶圆夹持位置确定，保证精密加工。夹持挡片压力传感器检测晶圆托盘前后方向是否到位。检测到位后，夹持气缸开始动作进行夹持，夹持板位移传感器检测到下夹持板的上下位置是否到位。

附图说明

图1是晶圆加工设备直线转运机构位置示意图（隐藏壳体以及部分无关零部件）。

图2是晶圆夹持机构结构示意图（隐藏部分遮挡的零部件）。

图3是上夹持板以及下夹持板部分放大图。

图4是晶圆夹持机构剖面简图（有夹持板弹簧的实施例）。

图5是上夹持板以及下夹持板前侧示意图。