[实用新型]激光加工晶圆精密定位托料架结构

权利要求书

1.激光加工晶圆精密定位托料架结构，包括在转运位设置的托料架，其特征在于：所述托料架上设置其上用于吸附晶圆托盘的托料架吸盘，托料架吸盘可以升降。

2.根据权利要求1所述激光加工晶圆精密定位托料架结构，其特征在于：所述托料架吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置至少3个向上的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴连通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。

3.根据权利要求2所述激光加工晶圆精密定位托料架结构，其特征在于：所述吸盘架体包括十字架体，十字架体末端设置架体连接板，吸头杆下端固定在架体连接板上；架体连接板上设置调节槽，十字架体上设置固定孔，通过调节固定孔在固定槽内长度方向的位置调节架体连接板伸出十字架体的长度。

4.根据权利要求1-3任一所述激光加工晶圆精密定位托料架结构，其特征在于：所述托料架吸盘上固定一端向外侧伸出的托料架吸盘连接板、机架上固定伺服电机带动的托料架丝杠机构，托料架丝杠机构的托料架螺母与托料架吸盘连接板固定。