[实用新型]激光加工晶圆精密定位托料架结构

说明书

本实用新型提供一种激光加工晶圆精密定位托料架结构，包括在转运位设置的托料架，托料架上设置其上用于吸附晶圆托盘的托料架吸盘，托料架吸盘可以升降。托料架吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置至少3个向上的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴连通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。托料架吸盘上固定一端向外侧伸出的托料架吸盘连接板、机架上固定伺服电机带动的托料架丝杠机构，托料架丝杠机构的托料架螺母与托料架吸盘连接板固定。托料架吸盘给与晶圆托盘的吸附力使晶圆托盘位置比较稳固，从而保证精确定位。

技术领域

本实用新型属于硅晶圆激光加工领域，具体涉及一种激光加工晶圆精密定位托料架结构。

背景技术

晶圆激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并直线移动到转运位。转运吸盘吸附晶圆托盘并转动使其移动到加工转运位上方，切割平台的晶圆真空吸盘也移动的加工转运位上并接收晶圆托盘。转运位用于暂时存放未加工的晶圆等待转移，转运位设置用于托料的机构。晶圆夹持机构的其中一个夹持板被夹持气缸带动移动。晶圆夹持机构松开时，其中一个夹持板与晶圆托盘接触。移开时候有摩擦可以会影响托盘位移。晶圆夹持机构将晶圆托盘放到转运位的过程中，如果晶圆托盘的位置发生变化会影响后续的转运位置，影响加工精度。

实用新型内容

本实用新型提供一种激光加工晶圆精密定位托料架结构。

本实用新型的目的是以下述方式实现的，激光加工晶圆精密定位托料架结构，包括在转运位设置的托料架，托料架上设置其上用于吸附晶圆托盘的托料架吸盘，托料架吸盘可以升降。

托料架吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置至少3个向上的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴连通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。

吸盘架体包括十字架体，十字架体末端设置架体连接板，吸头杆下端固定在架体连接板上；架体连接板上设置调节槽，十字架体上设置固定孔，通过调节固定孔在固定槽内长度方向的位置调节架体连接板伸出十字架体的长度。

托料架吸盘上固定一端向外侧伸出的托料架吸盘连接板、机架上固定伺服电机带动的托料架丝杠机构，托料架丝杠机构的托料架螺母与托料架吸盘连接板固定。

机架上对应转运位的位置设置直线转运位移传感器；晶圆夹持机构上对应位置设置直线转运位移检测条。

本实用新型的有益效果是：托料架上设置其上用于吸附晶圆托盘的托料架吸盘。托料架吸盘给与晶圆托盘的吸附力使晶圆托盘位置比较稳固，即使上夹持板或者下夹持板移动时与晶圆托盘之间产生摩擦力也不会改变晶圆托盘的位置，从而保证精确定位。

附图说明

图1是包括托料导轨的晶圆加工设备示意图。

图2是图1俯视剖视图（隐藏部分非运动部件）。

图3是图1另一高度平面的俯视剖视图（隐藏部分非运动部件）。

图4是转动转运机构放大图。

图5是转运吸盘部分放大图。

图6是晶圆夹持机构3放大示意图。

图7是晶圆夹持机构简图（具有夹持板弹簧的实施例）。

图8是包括具有托料架吸盘的的托料架的晶圆加工设备机构示意图。

图9是图8中托料架吸盘俯视图