[实用新型]一种晶圆柔性存料载具

权利要求书

1.一种晶圆柔性存料载具，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘的插入方向的两侧壁设置与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，其特征在于：所述水平托料槽的上、下侧壁设置弹性缓冲件。

2.根据权利要求1所述一种晶圆柔性存料载具，其特征在于：所述水平托料槽的上、下侧壁的内壁或者上下侧壁面向晶圆存料盒内部的一端分别设置弹性片。

3.根据权利要求2所述一种晶圆柔性存料载具，其特征在于：所述水平托料槽的上、下侧壁面向晶圆存料盒内部的一端的端面上间隔设置至少两个弹性片；弹性片为伞形，包括与水平托料槽的上、下侧壁的端面连接的伞柄以及锥形伞面，锥形伞面的两侧分别伸入相邻的水平托料槽。

4.根据权利要求2所述一种晶圆柔性存料载具，其特征在于：所述水平托料槽的上、下侧壁面向晶圆存料盒内部的一端的端面上间隔设置至少两个弹性片；弹性片截面为箭头形，箭头的中间部分与上、下侧壁的端面连接，箭头形弹性片的两个侧边分别伸入相邻的水平托料槽。

5.根据权利要求2所述一种晶圆柔性存料载具，其特征在于：所述弹性片为塑料件，塑料件为长方体。