[实用新型]一种晶圆柔性存料载具

说明书

本实用新型提供一种具有弹性缓冲的晶圆柔性存料载具，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘的插入方向的两侧壁设置与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，水平托料槽的上、下侧壁设置弹性缓冲件。晶圆存料盒受力或者发生晃动的时候，晶圆托盘与水平托料槽之间不会突然碰撞、彼此损伤。有效的提高了晶圆托盘和水平托料槽的寿命。

技术领域

本实用新型属于硅晶圆加工领域，具体涉及一种晶圆柔性存料载具。

背景技术

晶圆存料盒内存放多个晶圆托盘，在加工过程中，晶圆存料盒需要在存料盒步进电机的驱动下一层层的移动直到每个水平托料槽依次到达夹持位的高度。其中夹持位：晶圆夹持机构移动到晶圆存料盒附近开始取料时，等待被夹持的晶圆托盘在晶圆存料盒中所在的位置。存料盒步进电机在启动和停止时比较突然，晶圆存料盒和晶圆托盘之间会发生碰撞，可能会改变晶圆托盘的位置，影响后续的转运精度。长时间后，也会损伤晶圆存料盒或者晶圆托盘。

实用新型内容

本实用新型提供一种具有弹性缓冲的晶圆柔性存料载具。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：一种晶圆柔性存料载具，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘的插入方向的两侧壁设置与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，水平托料槽的上、下侧壁设置弹性缓冲件。

水平托料槽的上、下侧壁的内壁或者上下侧壁面向晶圆存料盒内部的一端分别设置弹性片。

水平托料槽的上、下侧壁面向晶圆存料盒内部的一端的端面上间隔设置至少两个弹性片；弹性片为伞形、包括与与水平托料槽的上、下侧壁的端面连接的伞柄以及锥形伞面，锥形伞面的两侧分别伸入相邻的水平托料槽。

水平托料槽的上、下侧壁面向晶圆存料盒内部的一端的端面上间隔设置至少两个弹性片；弹性片截面为箭头形，箭头的中间部分与上、下侧壁的端面连接，箭头形弹性片的两个侧边分别伸入相邻的水平托料槽。

弹性片为塑料件，塑料件为长方体。

本实用新型的有益效果是：在水平托料槽上下壁设置弹性缓冲件，晶圆存料盒受力或者发生晃动的时候，晶圆托盘与水平托料槽之间不会突然碰撞、彼此损伤。有效的提高了晶圆托盘和水平托料槽的寿命。

附图说明

图1是晶圆加工设备中晶圆存料盒位置示意图。

图2是晶圆存料盒端面示意图。

图3是水平托料槽另外的实施例放大示意图。

图4是晶圆存料盒侧壁示意图。

其中，1是机架、2是晶圆存料盒、20是水平托料槽、21是弹性片、22是存料盒滚珠丝杠机构、25是存料盒步进电机、26是限位杆、3是晶圆夹持机构、4是晶圆托盘。

具体实施方式