[实用新型]一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构

权利要求书

1.一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，其特征在于：包括设置在晶圆夹持机构下方转运位的托料架，托料架包括托料底板、托料底板上设置两根平行的托料导轨、托料导轨在导轨驱动机构的带动下沿着托料底板相对或者相向移动。

2.根据权利要求1所述一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，其特征在于：所述导轨驱动机构为设置在托料底板上的同步带传送机构，同步带传送机构的两侧同步带上分别固定一个同步带连接板、两个同步带连接板相对或者相向移动，每个同步带连接板与一个托料导轨连接。

3.根据权利要求2所述一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，其特征在于：所述托料底板上设置两个平行的托料底板导轨，托料底板导轨的长度方向垂直于托料导轨的长度方向；托料导轨底部连接托料导轨连接板，托料导轨连接板上设置连接板滑块，连接板滑块与托料底板导轨构成导轨副；托料导轨连接板与同步带连接板固定。

4.根据权利要求2所述一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，其特征在于：所述托料底板上设置至少一个托料底板位移传感器，同步带连接板上设置与托料底板位移传感器对应的连接板位移检测条。

5.根据权利要求1-4任一所述一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，其特征在于：所述托料导轨上设置接近开关。