[实用新型]一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构

说明书

本实用新型提供一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，包括设置在晶圆夹持机构下方转运位的托料架，托料架包括托料底板、托料底板上设置两根平行的托料导轨、托料导轨在导轨驱动机构的带动下沿着托料底板相对或者相向移动。导轨驱动机构为设置在托料底板上的同步带传送机构，同步带传送机构的两侧同步带上分别固定一个同步带连接板、两个同步带连接板相对或者相向移动，每个同步带连接板与一个托料导轨连接。托料导轨上设置接近开关。本实用新型的两根托料导轨之间的距离可以调节，从而适应不同规格晶圆托盘的需要。

技术领域

本实用新型属于晶圆加工领域，具体涉及一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构。

背景技术

晶圆激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并移动到转运位上方。转运位下方设置托料架，夹持机构松开晶圆托盘使其放置在转运位的托料架上，夹持机构继续移动到远离转运位。晶圆托盘在托料架上等待下一次移动到切割平台进行加工。晶圆托盘有不同的规格，每种规格的晶圆托盘都需要一种托料架，需要一种适应多种晶圆托盘的机构。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，包括设置在晶圆夹持机构下方转运位的托料架，托料架包括托料底板、托料底板上设置两根平行的托料导轨、托料导轨在导轨驱动机构的带动下沿着托料底板相对或者相向移动。

导轨驱动机构为设置在托料底板上的同步带传送机构，同步带传送机构的两侧同步带上分别固定一个同步带连接板、两个同步带连接板相对或者相向移动，每个同步带连接板与一个托料导轨连接。

托料底板上设置两个平行的托料底板导轨，托料底板导轨的长度方向垂直于托料导轨的长度方向；托料导轨底部连接托料导轨连接板，托料导轨连接板上设置连接板滑块，连接板滑块与托料底板导轨构成导轨副；托料导轨连接板与同步带连接板固定。

托料底板上设置至少一个托料底板位移传感器，同步带连接板上设置与托料底板位移传感器对应的连接板位移检测条。

托料导轨上设置接近开关。

本实用新型的有益效果是：托料导轨用于承接晶圆托盘，两根托料导轨之间的距离可以调节，从而适应不同规格晶圆托盘的需要。

附图说明

图1是晶圆加工设备直线转运机构位置示意图（隐藏壳体以及部分无关零部件）。

图2是晶圆夹持机构结构示意图（隐藏部分遮挡的零部件）。

图3是上夹持板以及下夹持板部分放大图。

图4是上夹持板以及下夹持板前侧示意图。

图5是托料架放大示意图。

具体实施方式

以下将结合附图以及具体实施例，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”“设置”等应做广义理解，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。