[实用新型]激光加工晶圆转运结构

权利要求书

1.激光加工晶圆转运结构，包括直线转运机构，直线转运机构包括晶圆夹持机构以及带动晶圆夹持机构直线移动的夹持直线驱动机构；其特征在于：所述夹持直线驱动机构的运动件与晶圆夹持机构之间设置缓冲防夹空装置。

2.根据权利要求1所述激光加工晶圆转运结构，其特征在于：所述夹持直线驱动机构的运动件包括直线转运滑块；直线转运滑块上设置夹持滑块，夹持滑块可以沿着直线转运滑块移动方向上移动；夹持滑块和直线转运滑块之间设置夹持滑块复位弹簧；夹持滑块复位弹簧的长度沿着夹持滑块的移动方向。

3.根据权利要求2所述激光加工晶圆转运结构，其特征在于：夹持滑块和直线转运滑块之间夹持滑块位移检测机构；即直线转运滑块上设置滑块位移传感器、夹持滑块上对应位置设置滑块位移检测条；或者夹持滑块上设置滑块位移传感器、直线转动滑块上对应位置设置滑块位移检测条。

4.根据权利要求3所述激光加工晶圆转运结构，其特征在于：所述晶圆夹持机构包括夹持连接板，夹持连接板上端固定连接夹持滑块，下端连接上夹持板、夹持气缸缸体；其中夹持气缸的活塞头连接下夹持板；上夹持板前端部分设置向下的夹持挡片，下夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片下端伸入挡片避让槽。

5.根据权利要求3所述激光加工晶圆转运结构，其特征在于：所述晶圆夹持机构包括夹持连接板，夹持连接板上端固定连接夹持滑块，下端连接上夹持板、夹持气缸缸体；其中夹持气缸的活塞头连接下夹持板；下夹持板前端部分向上设置夹持挡片，上夹持板对应位置设置挡片避让槽；夹持挡片上端伸入挡片避让槽。

6.根据权利要求2所述激光加工晶圆转运结构，其特征在于：所述夹持直线驱动机构为直线转运丝杠机构，直线转运夹持丝杠机构外侧设置夹持直线转运滑轨；直线转运滑块滑动设置在夹持直线转运滑轨上。