[实用新型]一种可调式转运吸盘结构

说明书

本实用新型提供一种可调式转运吸盘结构，包括吸盘架，吸盘架上方设置吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆；吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置调节椎体，调节锥体上端可上下调节的设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节椎体外表面始终接触。上下移动调节椎体，多个吸盘调节杆同时沿着径向移动相同的距离，从而同时调节了各个吸头杆与吸盘架体中心之间的距离。

技术领域

本实用新型属于硅晶圆激光加工领域，具体涉及一种可调式转运吸盘结构。

背景技术

硅晶圆进行激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并直线移动到转运位。转运吸盘吸附晶圆托盘并转动使其移动到加工转运位上方，切割平台的晶圆真空吸盘也移动的加工转运位上并接收晶圆托盘。转运吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置向下的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴联通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。不同规格是硅晶圆尺寸不同；而且在实际安装过程中，可能有一定的误差，需要在实际过程中根据需要调节吸头杆在吸盘架体上的位置。现有的调节机构，需要分别调节每个吸头杆的位置。

实用新型内容

本实用新型提供一种可调式转运吸盘结构。

本实用新型的目的是以下述方式实现的：一种可调式转运吸盘结构，包括吸盘架，吸盘架上设置可以移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆末端设置与负压气源连接的负压吸嘴，吸盘架上方设置吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆使吸盘架安装板和吸盘架固定；所述吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置可以上下移动的调节椎体，调节锥体上端可上下调节的设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节椎体外表面始终接触。

调节椎体是圆锥，调节椎体上端设置向上的螺纹杆，螺纹杆与吸盘架安装板通过螺纹连接。

调节椎体是正棱锥，正棱锥的面数与吸盘调节杆的个数对应；正棱锥上端设置椎体连接件；椎体连接件上设置一排上下排布的调节孔，调节孔内设置与吸盘架安装板固定的固定杆。

吸盘架上沿着周向设置至少两个调节杆移动槽，吸盘调节杆滑动设置在调节杆移动槽内；吸盘调节杆上向侧面伸出调节杆复位部；弹簧复位机构包括设置固定在吸盘架上的弹簧，弹簧另一端与调节杆复位部连接使吸盘调节杆一端与调节椎体接触。

吸盘架安装板和吸盘架之间设置至少两个连接杆，连接杆避开吸盘调节杆的位置。

机架上设置转运电机带动转动的转运连接体，转运连接体两端分别设置转运升降气缸，转运升降气缸的外侧面设置转运升降气缸导轨，转运升降气缸的活塞头固定转运气缸连接板，转运气缸连接板固定转运升降气缸滑块；转运升降气缸滑块与转运升降气缸导轨构成导轨副；转运升降气缸滑块外侧伸出悬臂，悬臂上固定吸盘架安装板。

本实用新型的有益效果是：上下移动调节椎体，多个吸盘调节杆同时沿着径向移动相同的距离，从而同时调节了各个吸头杆与吸盘架体中心之间的距离。

附图说明

图1是晶圆加工设备正面示意图（隐藏部分无关零部件）。

图2是图1俯视剖视图（隐藏部分机架以及部分非运动部件）。

图3是图1另一高度平面的俯视剖视图（隐藏部分机架以及部分非运动部件）。

图4是托料架部分放大图。

图5是转动转运机构放大图。

图6是转运吸盘部分放大图。

图7是可调式转运吸盘结构示意图。