[实用新型]一种用于芯片手动测试的快速升降承接台

说明书

本实用新型公开了一种用于芯片手动测试的快速升降承接台，包括底座，所述底座上安装有中心轴，所述中心轴的外侧安装有衬套，所述衬套的外侧安装有中心轴套支座，所述中心轴套支座上安装有T轴转臂，所述T轴转臂上通过陶瓷盘连接有承片盘，所述底座上通过支架安装有微分头，所述微分头的前端紧贴在导向轴上；所述旋转抬升基座的侧面刚性连接有手柄，所述旋转抬升基座的外圆周上设置有三个滑槽，三个所述滑槽前方分别通过支架安装有对应的轴承，所述轴承的外圆弧面移动安装在所述滑槽中。本实用新型为手动测试承接台，可快速升降，T向的旋转亦可通过手动操作完成，操作方便，非常适用于高等院校、实验室、对芯片进行科研分析、抽查测试。

技术领域

本实用新型涉及芯片测试领域，具体涉及一种用于芯片手动测试的快速升降承接台。

背景技术

承接台是一个在晶圆的测试过程中放置晶圆的台子，现有的承接台操作起来有较多不便，不能进行快速升降，需要有一个方便快速进行Z向升降和绕Z向旋转即T向旋转的测试承接台。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种用于芯片手动测试的快速升降承接台。

根据本申请实施例提供的技术方案，一种用于芯片手动测试的快速升降承接台，包括底座，所述底座上安装有中心轴，所述中心轴的外侧安装有衬套，所述衬套的外侧安装有中心轴套支座，所述中心轴套支座上安装有T轴转臂，所述T轴转臂上通过陶瓷盘连接有承片盘，所述底座上通过支架安装有微分头，所述微分头的前端紧贴在导向轴上，所述导向轴安装在所述T轴转臂上；

所述中心轴套支座的外侧安装有交叉滚子轴承，所述交叉滚子轴承的外圈安装有旋转抬升基座，所述旋转抬升基座的侧面刚性连接有手柄，所述旋转抬升基座的外圆周上设置有三个滑槽，三个所述滑槽前方分别通过支架安装有对应的轴承，所述轴承的外圆弧面移动安装在所述滑槽中。

本实用新型中，所述滑槽呈螺旋状设置。

本实用新型中，所述中心轴的外侧由内至外依次安装有所述衬套、中心轴套支座、交叉滚子轴承和旋转抬升基座。

本实用新型中，所述T轴转臂的内圈安装在陶瓷卡环上，所述陶瓷卡环安装在所述陶瓷盘上，所述陶瓷盘上安装有所述承片盘。

本实用新型中，所述陶瓷卡环的外侧设有斜向的切口。

综上所述，本申请的有益效果：本实用新型为手动测试承接台，可快速升降，T向的旋转亦可通过手动操作完成，操作方便，非常适用于高等院校、实验室、对芯片进行科研分析、抽查测试。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的立体图；

图3为本实用新型的立体图；

图4为本实用新型的剖面图。

图中标号：底座－1；承接台－2；承片盘-3；微分头－4；导向轴－5；手柄-6；滑槽－7；轴承－8；T轴转臂-9；中心轴－10；衬套11；中心轴套支座12；交叉滚子轴承13。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。