[实用新型]一种电源盒及薄膜沉积系统

权利要求书

1.一种电源盒，其特征在于，包括：

多个第一加热电源、多个第一温控表和切换部件；

其中，所述切换部件包括多个第一接口、多个第二接口和多个第三接口，所述第一接口与所述第一加热电源一一对应连接，所述第二接口与所述第一温控表一一对应连接，所述第三接口与外部信号产生部件连接；所述第二接口和所述第三接口均与所述第一接口一一对应；

所述切换部件用于在第一状态下连通各所述第二接口与对应所述第一接口，断开各所述第三接口与对应所述第一接口，在第二状态下连通至少一个第三接口与对应所述第一接口，断开各所述第二接口与对应所述第一接口。

2.根据权利要求1所述的电源盒，其特征在于，还包括外壳，所述多个第一加热电源、所述多个第一温控表和所述切换部件设置于所述外壳内。

3.根据权利要求1所述的电源盒，其特征在于，还包括至少一个第二加热电源和至少一个第二温控表，所述第二加热电源与所述第二温控表一一对应连接。

4.根据权利要求1所述的电源盒，其特征在于，还包括开关电源，所述开关电源与所述第一加热电源、所述第一温控表和所述切换部件连接。

5.根据权利要求1所述的电源盒，其特征在于，所述切换部件为继电器模组。

6.根据权利要求2所述的电源盒，其特征在于，还包括控制信号部件，所述控制信号部件与对应的外部受控部件连接。

7.根据权利要求6所述的电源盒，其特征在于，所述外壳包括电源输出接口，热电偶输入接口，多个信号输入接口，信号输出接口，第一通讯接口，第二通讯接口、多个第一按钮开关、多个第二按钮开关、多个加热电源开口和多个温度显示开口；

其中，所述电源输出接口与所述多个第一加热电源连接，所述热电偶输入接口与所述多个第一温控表连接，所述信号输入接口与所述第三接口一一对应连接，所述信号输出接口与所述控制信号部件连接，所述第一通讯接口与所述多个第一温控表连接，所述第二通讯接口与所述多个第一加热电源连接，所述切换部件包括多个第一开关，所述第一按钮开关与所述第一开关一一对应连接，所述控制信号部件包括多个第二开关，所述第二按钮开关与所述第二开关一一对应连接，所述加热电源开口与所述第一加热电源一一对应，所述加热电源开口贯穿所述外壳漏出对应所述第一加热电源的显示区域，所述温度显示开口与所述温控表一一对应，所述温度显示开口贯穿所述外壳漏出对应所述温控表的显示区域。

8.根据权利要求7所述的电源盒，其特征在于，所述电源输出接口，所述热电偶输入接口，所述信号输入接口，所述信号输出接口，所述第一通讯接口，所述第二通讯接口位于所述外壳的第一侧壁；

所述多个第一按钮开关、所述多个第二按钮开关、所述多个加热电源开口和所述多个温度显示开口位于所述外壳的第二侧壁。

9.一种薄膜沉积系统，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的电源盒。

10.根据权利要求9所述的薄膜沉积系统，其特征在于，所述电源盒还包括控制信号部件，所述控制信号部件与对应的外部受控部件连接；

所述外部信号产生部件包括晶振探头，所述外部受控部件包括电磁阀。