[实用新型]一种电源盒及薄膜沉积系统

说明书

本实用新型公开了一种电源盒及薄膜沉积系统。所述电源盒包括多个第一加热电源、多个第一温控表和切换部件；其中，切换部件包括多个第一接口、多个第二接口和多个第三接口，第一接口与第一加热电源一一对应连接，第二接口与第一温控表一一对应连接，第三接口与外部信号产生部件连接；第二接口和第三接口均与第一接口一一对应；切换部件用于在第一状态下连通各第二接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口，在第二状态下连通至少一个第三接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口。本实用新型实施例提供的技术方案，使得电源盒可适用于不同的工作环境。

技术领域

本实用新型实施例涉及电源技术领域，尤其涉及一种电源盒及薄膜沉积系统。

背景技术

采用热蒸镀工艺沉积薄膜材料时，通过加热电源和温控表的温度闭环控制，加热电源和薄膜沉积控制器的速率闭环控制，和切换电路等配套电路的辅助控制，保证了薄膜材料的正常沉积。

现有技术中通过设置专门的电气控制柜，将配套电路安装于电气控制柜内，将加热电源、温控表以及薄膜沉积控制器的线缆引入控制柜，并采用引出线缆实现温度控制与薄膜沉积速率控制的切换。其中，加热电源的加热能力需要与薄膜沉积控制器的通道数匹配，因此，对于具有不同薄膜沉积控制器通道数的热蒸镀设备，需要设计不同的加热电源，同一加热电源无法适用不同的工作环境。

实用新型内容

本实用新型提供一种电源盒及薄膜沉积系统，以使得电源盒可适用于不同的工作环境。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种电源盒，包括：

多个第一加热电源、多个第一温控表和切换部件；

其中，所述切换部件包括多个第一接口、多个第二接口和多个第三接口，所述第一接口与所述第一加热电源一一对应连接，所述第二接口与所述第一温控表一一对应连接，所述第三接口与外部信号产生部件连接；所述第二接口和所述第三接口均与所述第一接口一一对应；

所述切换部件用于在第一状态下连通各所述第二接口与对应所述第一接口，断开各所述第三接口与对应所述第一接口，在第二状态下连通至少一个第三接口与对应所述第一接口，断开各所述第二接口与对应所述第一接口。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种薄膜沉积系统，包括上述第一方面所述的电源盒。

本实用新型实施例提供的电源盒包括多个第一加热电源、多个第一温控表和切换部件，其中，切换部件包括多个第一接口、多个第二接口和多个第三接口，第一接口与第一加热电源一一对应连接，第二接口与第一温控表一一对应连接，第三接口与外部信号产生部件连接；第二接口和第三接口均与第一接口一一对应，切换部件用于在第一状态下连通各第二接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口，在第二状态下连通至少一个第三接口与对应第一接口，断开各第二接口与对应第一接口，使得电源盒可适用于不同的工作环境，无需针对不同工作环境设计不同的电源盒。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是本实用新型实施例提供的一种电源盒的电路结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的外壳的第一侧壁的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的外壳的第二侧壁的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种薄膜沉积系统的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的一种电源盒及薄膜沉积系统的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

本实用新型实施例提供了一种电源盒，包括：