[实用新型]基板传送装置及基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，具备传送部，该传送部具有相互向反方向旋转的下侧辊和上侧辊，利用所述下侧辊和所述上侧辊夹持基板而进行传送，其特征在于，

所述下侧辊在与所述基板的传送方向正交的宽度方向上在比所述基板的尺寸长的范围上具有树脂制的表层部，所述表层部与所述基板的下表面的所述宽度方向的整个范围抵接，

所述上侧辊具有轴和设置在所述轴的两端附近的橡胶制的弹性环，所述弹性环与所述基板的上表面的宽度方向的两缘部附近部位抵接。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，

所述传送部传送由玻璃板构成的所述基板。

3.根据权利要求1或2所述的基板传送装置，其中，

所述弹性环为在剖视观察下呈矩形形状的方形圈。

4.根据权利要求1或2所述的基板传送装置，其中，

所述弹性环为在剖视观察下呈圆形形状的O形圈。

5.根据权利要求1或2所述的基板传送装置，其中，

在所述轴的两端附近分别装配多个所述弹性环。

6.根据权利要求1或2所述的基板传送装置，其中，

所述表层部由聚氨酯树脂形成。

7.根据权利要求1或2所述的基板传送装置，其中，

所述下侧辊具有：

在外周卷缠有所述表层部的不锈钢制的管体；及

嵌入于所述管体的碳纤维强化塑料制的加强管部。

8.一种基板清洗装置，具备权利要求1～7中任一项所述的基板传送装置，其中，

所述基板清洗装置排列有多个所述传送部，在所述传送部之间设置有对所述基板的上下表面进行清洗的清洗机构部。

9.根据权利要求8所述的基板清洗装置，其中，

所述清洗机构部具有与所述基板的上下表面抵接并进行旋转的多个盘刷。

10.根据权利要求8所述的基板清洗装置，其中，

所述清洗机构部具有与所述基板的上下表面抵接并进行旋转的多个辊刷。

11.根据权利要求9所述的基板清洗装置，其中，

所述清洗机构部的多个所述盘刷在俯视观察下配置成锯齿状。

12.根据权利要求8～11中任一项所述的基板清洗装置，其中，

由所述传送部和设置在所述传送部之间的所述清洗机构部构成的基板清洗单元串联地配置多个。