[实用新型]基板传送装置及基板清洗装置

说明书

一种基板传送装置及基板清洗装置，基板传送装置(10)具备传送部(11)，该传送部(11)具有相互向反方向旋转的下侧辊(13)及上侧辊(15)，利用下侧辊(13)和上侧辊(15)夹持玻璃板(G)而进行传送，其中，下侧辊(13)在与玻璃板(G)的传送方向(X)正交的宽度方向上在比所述基板的尺寸长的范围上具有树脂制的表层部(26)，表层部(26)与玻璃板(G)的下表面的所述宽度方向的整个范围抵接，上侧辊(15)具有轴(31)和设置在轴(31)的两端附近的橡胶制的弹性环(33)，弹性环(33)与玻璃板(G)的上表面的宽度方向的两缘部附近部位抵接。

技术领域

本实用新型涉及基板传送装置及基板清洗装置。

背景技术

例如，作为对使用于LCD(Liquid Crystal Display)或OLED(Organic Light-Emitting Diode)等平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的玻璃板进行清洗的清洗装置，已知有具备使辊刷与玻璃板的表面或背面接触而进行清洗的刷清洗机构部和保持玻璃板的端部并将玻璃板沿着与辊刷的长度大致正交的方向传送的传送机构部的结构(例如，参照专利文献1)。在该清洗装置中，构成传送机构部的传送辊和防上浮辊夹着玻璃板的缘部而送出。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本国特开2008-68223号公报

【实用新型要解决的课题】

然而，为了提高清洗机构部对玻璃板的清洗力而提高刷对于玻璃板的压紧力时，清洗机构部的阻力变大。于是，存在玻璃板的传送速度下降，或玻璃板停止，并产生清洗不良的可能性。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于提供一种能够顺畅地传送基板的基板传送装置及能够良好地清洗基板的基板清洗装置。

【用于解决课题的方案】

本实用新型由下述结构构成。

(1)一种基板传送装置，具备传送部，该传送部具有相互向反方向旋转的下侧辊和上侧辊，利用所述下侧辊和所述上侧辊夹持基板而进行传送，其中，

所述下侧辊在与所述基板的传送方向正交的宽度方向上在比所述基板的尺寸长的范围上具有树脂制的表层部，所述表层部与所述基板的下表面的所述宽度方向的整个范围抵接，

所述上侧辊具有轴和设置在所述轴的两端附近的橡胶制的弹性环，所述弹性环与所述基板的上表面的宽度方向的两缘部附近部位抵接。

(2)一种基板清洗装置，其中，

将上述(1)的传送部排列多个，

在所述传送部之间设置对所述基板的上下表面进行清洗的清洗机构部。

【实用新型效果】

根据本实用新型的基板传送装置及基板清洗装置，能够顺畅地传送基板，因此，能够良好地清洗基板。

附图说明

图1是具备本实用新型的实施方式的基板传送装置的基板清洗装置的概略俯视图。

图2是具备本实用新型的实施方式的基板传送装置的基板清洗装置的概略侧视图。

图3是图1的A-A剖视图。

图4是基板传送装置的传送部的沿轴向的一部分的概略剖视图。

图5是表示基板传送装置的传送部的变形例的图1中的A-A剖视图。

图6是表示基板传送装置的传送部和清洗机构部的另一配置例的基板清洗装置的概略俯视图。