[实用新型]机台气体置换设备

权利要求书

1.一种机台气体置换设备，其特征在于，包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。

2.根据权利要求1所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述置换管道上沿气体流动方向依次设置有第一三通阀和第二三通阀，所述第一三通阀具有第一进口、第一出口和第一换向接口，所述第一进口和所述第一出口与所述置换管道连接，所述气体加热装置的进气端与所述第一换向接口连接，所述第二三通阀具有第二进口、第二出口和第二换向接口，所述第二进口和所述第二出口与所述置换管道连接，所述气体加热装置的出气端与所述第二换向接口连接。

3.根据权利要求2所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述气体加热装置包括加热本体、进气接管和出气接管，所述进气接管设置在所述加热本体的进气端，并与所述第一换向接口可拆卸连接，所述出气接管设置在所述加热本体的出气端，并与所述第二换向接口可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述气体加热装置还包括相对所述置换管道可自由移动的移动装置平台，所述加热本体设置在所述移动装置平台上。

5.根据权利要求4所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述移动装置平台包括承载架、升降驱动件和移动底盘，所述升降驱动件设置在所述移动底盘上，所述移动底盘的底部设置有多个移动轮，所述承载架设置在所述升降驱动件上，并用于在所述升降驱动件的带动下相对所述移动底盘上下移动，所述加热本体设置在所述承载架上。

6.根据权利要求3所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述第一换向接口上设置有第一插拔接头，所述进气接管的进气端设置有进气接头，所述第一插拔接头用于插接在所述进气接头上；所述第二换向接口上设置有第二插拔接头，所述出气接管的出气端设置有出气接头，所述第二插拔接头用于插接在所述出气接头上。

7.根据权利要求3所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述加热本体包括筒体和围设在所述筒体周围的加热丝，所述筒体上开设有进气孔和出气孔，所述进气接管连接于所述进气孔，所述出气接管连接于所述出气孔。

8.根据权利要求3所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述进气接管和所述出气接管均为柔性软管。

9.根据权利要求1-8任一项所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述机台气体置换设备还包括氮气源，所述氮气源与所述置换管道连接，以通过所述置换管道向所述机台腔体内通入氮气。

10.根据权利要求1-8任一项所述的机台气体置换设备，其特征在于，所述机台气体置换设备还包括负压泵，所述负压泵与所述抽气管道连接，以通过所述抽气管道抽出所述机台腔体内的气体。