[实用新型]机台气体置换设备

说明书

本实用新型提供一种机台气体置换设备，涉及半导体设备领域，该机台气体置换设备包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。相较于现有技术，本实用新型提供的机台气体置换设备，能够快速置换机台腔体内的残存气体，并且快速去除机台腔体内的水汽残存，减少了清洁时间，提高了清洁效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，具体而言，涉及一种机台气体置换设备。

背景技术

在半导体制造领域，机台上通常具有各种功能机台腔体，例如反应气体传送腔体或者反应气体缓冲腔体等，在机台腔体进行保养时，通常需要使用无水酒精及超纯水擦拭机台腔体内壁，实现清洗、保养的功能。然而，利用无水酒精及超纯水保养后，通常会造成机台腔体内具有残存气体或液体，例如挥发的酒精或者水汽，使得机台腔体内难以建立真空环境，同时也容易出现污染，影响机台腔体的正常使用。

在现有技术中，针对上述问题，通常是采用将氮气通入到机台腔体内进行置换，氮气与机台腔体内的残存气体或水汽混合后再排出，以建立干净的空间。然而，由于气体杂质无法通过肉眼识别，故只能主动通过多次、长时间的氮气置换后抽离，再借由真空状态确认残存气体或液体是否排出完毕，这样导致其所花时间较长，使得清洁时间拉长，造成时间的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机台气体置换设备，其能够提高气体混合效率，快速排出机台腔体内的残存气体和水汽，减少清洁时间。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供一种机台气体置换设备，包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。

在可选的实施方式中，所述置换管道上沿气体流动方向依次设置有第一三通阀和第二三通阀，所述第一三通阀具有第一进口、第一出口和第一换向接口，所述第一进口和所述第一出口与所述置换管道连接，所述气体加热装置的进气端与所述第一换向接口连接，所述第二三通阀具有第二进口、第二出口和第二换向接口，所述第二进口和所述第二出口与所述置换管道连接，所述气体加热装置的出气端与所述第二换向接口连接。

在可选的实施方式中，所述气体加热装置包括加热本体、进气接管和出气接管，所述进气接管设置在所述加热本体的进气端，并与所述第一换向接口可拆卸连接，所述出气接管设置在所述加热本体的出气端，并与所述第二换向接口可拆卸连接。

在可选的实施方式中，所述气体加热装置还包括相对置换管道可自由移动的移动装置平台，所述加热本体设置在所述移动装置平台上。

在可选的实施方式中，所述移动装置平台包括承载架、升降驱动件和移动底盘，所述升降驱动件设置在所述移动底盘上，所述移动底盘的底部设置有多个移动轮，所述承载架设置在所述升降驱动件上，并用于在所述升降驱动件的带动下相对所述移动底盘上下移动，所述加热本体设置在所述承载架上。

在可选的实施方式中，所述第一换向接口上设置有第一插拔接头，所述进气接管的进气端设置有进气接头，所述第一插拔接头用于插接在所述进气接头上；所述第二换向接口上设置有第二插拔接头，所述出气接管的出气端设置有出气接头，所述第二插拔接头用于插接在所述出气接头上。

在可选的实施方式中，所述加热本体包括筒体和围设在所述筒体周围的加热丝，所述筒体上开设有进气孔和出气孔，所述进气接管连接于所述进气孔，所述出气接管连接于所述出气孔。

在可选的实施方式中，所述进气接管和所述出气接管均为柔性软管。