[实用新型]一种晶圆贴膜装置

权利要求书

1.一种晶圆贴膜装置，包括贴膜台、切膜机构、拉膜机构、压模机构，其特征在于，所述贴膜台的中部设置有用于放置晶圆的可旋转的转盘，所述切膜机构包括用于所述膜切割的切刀，所述拉膜机构包括新膜滚轮、废膜滚轮、支撑滚轮，所述膜的两端分别卷绕于所述新膜滚轮、废膜滚轮，所述膜的中部在所述支撑滚轮支撑作用下沿所述晶圆的顶端传动，所述压模机构包括压模滚轮，所述压模滚轮用于将所述膜贴装于所述晶圆的背面；

其还包括定位装置、转盘驱动装置、控制器，所述定位装置包括与所述转盘对应的图像采集装置，所述图像采集装置、转盘驱动装置与所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于：其还包括切刀驱动装置、第一滚轮驱动装置、第二滚轮驱动装置，所述切刀驱动装置、第一滚轮驱动装置、第二滚轮驱动装置均与所述控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆贴膜装置，其特征在于：其还包括滚轮支撑架，所述新膜滚轮、废膜滚轮通过所述滚轮支撑架固定于所述贴膜台的一侧，所述压模滚轮通过所述滚轮支撑架固定于所述贴膜台的另一侧，所述支撑滚轮包括至少四个，其中两个位于所述贴膜台的底端两侧，另外两个位于所述贴膜台的顶端两侧，所述膜的一端卷绕于所述新膜滚轮，另一端在所述支撑滚轮支撑及转动作用下依次沿所述贴膜台的底端、顶端、所述晶圆的上方传动，并卷绕于所述废膜滚轮。

4.根据权利要求3所述的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述压模机构还包括分布于所述贴膜台的两侧的导轨，所述压模滚轮的两端支撑于所述导轨，并在第二滚轮驱动装置及链条传动装置作用下沿所述晶圆的上表面移动，所述膜位于所述压模滚轮与所述晶圆之间。

5.根据权利要求1或4任一项所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述晶圆的尺寸为18英寸、12英寸、8英寸或6英寸。

6.根据权利要求5所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，将所述晶圆放置于所述贴膜台之前，对所述晶圆进行分片，将圆形所述晶圆按1/2、1/4或1/8结构进行分切，获取所述1/2片、1/4片或1/8片晶圆。

7.根据权利要求6所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，将所述晶圆的正面朝下、背面朝上放置于所述贴膜台上，所述晶圆的正面设置有第一电极、第二电极。

8.根据权利要求7所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述贴膜为蓝膜、UV膜或PET衬底膜。