[实用新型]一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机有效

专利信息
申请号: 202021735102.5 申请日: 2020-08-19
公开(公告)号: CN212483216U 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 郭红杰;郭红振 申请(专利权)人: 深圳市启诚仪器设备有限公司
主分类号: G01N3/24 分类号: G01N3/24;G01N3/04
代理公司: 北京贵都专利代理事务所(普通合伙) 11649 代理人: 李新锋
地址: 518000 广东省深圳市宝安区新桥*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 基板上 芯片 剪切 强度 测试
【权利要求书】:

1.一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,主要包括主平台、活动龙门架、紧压块、压紧手柄、推头模块和同步轮,所述主平台中间设有活动龙门架,活动龙门架下设有紧压块,所述压紧手柄穿过活动龙门架与紧压块连接,控制紧压块上下移动;所述主平台左侧镂空装有两个同步轮,同步轮固定连接丝杆,两个丝杆两端同步平行固定在Y轴导轨上,同步轮通过同步带与伺服电机连接,所述Y轴导轨上设有推头模块,推头模块尾部设有传感器盒。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述主平台下设有三条加强筋,均匀分布固定于主平台之下,保证主平台的平整度并且防止主平台受力变形。

3.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述主平台右侧设有龙门滑轨,活动龙门架可通过龙门滑轨左右移动,紧压块夹持位置灵活多样,适应性更广。

4.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述两个同步轮和两个丝杆固定连接,两个丝杆都为相同规格且丝杆两端同步平行固定在同一结构模块上,两个丝杆采用同规格的同步轮和同步带连接,由同一台伺服电机驱动,保证了丝杆的并行度和运转的顺畅度,避免了传统丝杆导轨模组带来的左右受力不均的问题。

5.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述伺服电机通过电机支架固定于主平台之下,可带动推头模块实现低至0.1mm/min的给进速率。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述推头模块前部嵌入推刀头,推刀头采用硬质材料打磨支撑,紧贴芯片被侧面施力。

7.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述推头模块中部设有轴承和Y轴导轨固定的轴承座,轴承可使得推头角度受调节杆调节,推头模块还设有Z轴调节,通过拧动调节推头的整体高度,千分调节,兼容不同厚度基板的芯片测试。

8.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述主平台上设有定位插孔群,通过插入圆棒灵活适应不同尺寸基板的定位测试。

9.根据权利要求1所述的一种玻璃基板上的芯片剪切强度测试机,其特征在于,所述传感器盒受力中心点和被测芯片受力点设计在同一平面,推头和传感器盒同步实现角度调整,测试过程中始终保持受力方向和传感器盒安装方向平行。

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