[实用新型]一种全自动高效单晶硅双面抛光机

权利要求书

1.一种全自动高效单晶硅双面抛光机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部的正中设置有承台(2)，所述承台(2)底部的四角分别固定连接有弹力伸缩导杆(3)，所述底座(1)顶部的两侧对称固定连接有支撑台(4)，两个所述支撑台(4)相对一侧的中部对称设置有爪形夹持夹具(5)，所述爪形夹持夹具(5)远离支撑台(4)一侧的正中活动连接有延长轴(6)，所述延长轴(6)远离爪形夹持夹具(5)的一端固定连接有打磨头(7)，所述爪形夹持夹具(5)另一侧的正中固定连接有转动轴(8)，所述支撑台(4)内腔的中部设置有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的中部套设有安装架(10)，两个所述支撑台(4)之间的顶部设置有支撑梁(11)，所述支撑梁(11)底部的正中设置有压板(12)，所述压板(12)顶部的正中固定连接有连接台(14)，所述压板(12)顶部的两侧对称固定连接有导杆(13)，所述连接台(14)顶部的正中设置有螺杆(15)，所述螺杆(15)的顶端固定连接有旋转驱动组件(16)，所述支撑梁(11)顶部的正中设置有限位板(17)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动高效单晶硅双面抛光机，其特征在于：所述弹力伸缩导杆(3)的底端固定连接在底座(1)顶部的外壁上，所述承台(2)设置在两个支撑台(4)之间的底部，两个所述打磨头(7)对称设置在承台(2)顶部的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种全自动高效单晶硅双面抛光机，其特征在于：所述驱动电机(9)与安装架(10)的壁体紧密贴合并固定连接，所述安装架(10)的一端固定安装在支撑台(4)另一侧的内壁上，所述驱动电机(9)的一端延伸有输出轴。

4.根据权利要求3所述的一种全自动高效单晶硅双面抛光机，其特征在于：所述转动轴(8)远离爪形夹持夹具(5)的一端贯穿支撑台(4)一侧的外壁并延伸至支撑台(4)的内部，所述转动轴(8)与支撑台(4)的壁体通过第一轴承转动连接，所述转动轴(8)的一端与驱动电机(9)的输出轴相连接。

5.根据权利要求4所述的一种全自动高效单晶硅双面抛光机，其特征在于：所述支撑梁(11)的两端分别固定连接在两个支撑台(4)一侧面顶部的外壁上，所述压板(12)设置在两个打磨头(7)之间的顶部，所述导杆(13)的顶端贯穿支撑梁(11)的壁体并延伸至支撑梁(11)顶部的外侧，导杆(13)贴合支撑梁(11)的壁体，所述导杆(13)的顶端固定连接在限位板(17)底部的外壁上。

6.根据权利要求5所述的一种全自动高效单晶硅双面抛光机，其特征在于：所述螺杆(15)的底端贯穿连接台(14)顶部的外壁并延伸至连接台(14)壁体的内部，螺杆(15)与连接台(14)的壁体通过第二轴承转动连接，所述螺杆(15)的顶端依次贯穿支撑梁(11)、限位板(17)并延伸至限位板(17)顶部的外侧，螺杆(15)与支撑梁(11)的壁体通过螺纹连接，所述螺杆(15)与限位板(17)的壁体通过第三轴承转动连接，所述旋转驱动组件(16)的两端分别固定安装在限位板(17)顶部两侧的外壁上。