[实用新型]一种圆片盒清洗烘干的载体装置有效
申请号: | 202021749704.6 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN212695129U | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 程玉学 | 申请(专利权)人: | 三河市致欣科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B08B13/00 |
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地址: | 065201 河北省廊坊市三河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 圆片盒 清洗 烘干 载体 装置 | ||
1.一种圆片盒清洗烘干的载体装置,包括底框(1),其特征在于,所述底框(1)两侧框壁上方分别对应设置固定杆(5),固定杆(5)为拱形杆,所述固定杆(5)底部两侧垂直安装在底框(1)两侧,两侧固定杆(5)外侧均设置挡板(3),挡板(3)两侧沿底框(1)前部框壁方向设置支撑板(2),支撑板(2)垂直安装在挡板(3)上,所述挡板(3)内壁设置若干支撑杆(8),支撑杆(8)两根为一组两梁支撑杆(8)相对方向侧壁分布对应设置若干等距离分布的导轨槽(6),对应导轨槽(6)内设置圆晶片盒(7),圆晶片盒(7)底部设置旋转轴(11),旋转轴(11)一侧安装在右侧挡板(3)上,另一侧穿过左侧挡板(3)延伸至外侧,所述左侧挡板(3)对应旋转轴(11)设置通孔(4)。
2.根据权利要求1所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述右侧挡板(3)内侧壁设置固定器(10),固定器(10)上方设置固定圆盘(9),所述固定器(10)连接在旋转轴(11)右侧,所述固定圆盘(9)连接支撑杆(8)右侧。
3.根据权利要求1所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述支撑杆(8)由不锈钢管加工而成,支撑杆(8)外套塑料管件,整体轴铣扁。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述固定杆(5)、底框(1)、挡板(3)与支撑板(2)均为洁净不锈钢材质。
5.根据权利要求4所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述圆晶片盒(7)定位采用卡槽式,材质采用NPP内衬不锈钢棒。
6.根据权利要求5所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述支撑杆(8)两侧设置若干托板(12),托板(12)安装在两侧挡板(3)内侧壁。
7.根据权利要求6所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述托板(12)为倒拱形板,托板(12)材质为洁净不锈钢。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造