[实用新型]一种圆片盒清洗烘干的载体装置有效

专利信息
申请号: 202021749704.6 申请日: 2020-08-20
公开(公告)号: CN212695129U 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 程玉学 申请(专利权)人: 三河市致欣科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 065201 河北省廊坊市三河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 圆片盒 清洗 烘干 载体 装置
【权利要求书】:

1.一种圆片盒清洗烘干的载体装置,包括底框(1),其特征在于,所述底框(1)两侧框壁上方分别对应设置固定杆(5),固定杆(5)为拱形杆,所述固定杆(5)底部两侧垂直安装在底框(1)两侧,两侧固定杆(5)外侧均设置挡板(3),挡板(3)两侧沿底框(1)前部框壁方向设置支撑板(2),支撑板(2)垂直安装在挡板(3)上,所述挡板(3)内壁设置若干支撑杆(8),支撑杆(8)两根为一组两梁支撑杆(8)相对方向侧壁分布对应设置若干等距离分布的导轨槽(6),对应导轨槽(6)内设置圆晶片盒(7),圆晶片盒(7)底部设置旋转轴(11),旋转轴(11)一侧安装在右侧挡板(3)上,另一侧穿过左侧挡板(3)延伸至外侧,所述左侧挡板(3)对应旋转轴(11)设置通孔(4)。

2.根据权利要求1所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述右侧挡板(3)内侧壁设置固定器(10),固定器(10)上方设置固定圆盘(9),所述固定器(10)连接在旋转轴(11)右侧,所述固定圆盘(9)连接支撑杆(8)右侧。

3.根据权利要求1所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述支撑杆(8)由不锈钢管加工而成,支撑杆(8)外套塑料管件,整体轴铣扁。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述固定杆(5)、底框(1)、挡板(3)与支撑板(2)均为洁净不锈钢材质。

5.根据权利要求4所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述圆晶片盒(7)定位采用卡槽式,材质采用NPP内衬不锈钢棒。

6.根据权利要求5所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述支撑杆(8)两侧设置若干托板(12),托板(12)安装在两侧挡板(3)内侧壁。

7.根据权利要求6所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置,其特征在于,所述托板(12)为倒拱形板,托板(12)材质为洁净不锈钢。

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