[实用新型]一种圆片盒清洗烘干的载体装置

说明书

本实用新型公开了一种圆片盒清洗烘干的载体装置，包括底框，所述底框两侧框壁上方分别对应设置固定杆，固定杆为拱形杆，所述固定杆底部垂直安装在底框两侧，两侧固定杆外侧均设置挡板，挡板两侧沿底框前部框壁方向设置支撑板，支撑板垂直安装在挡板上，所述两侧挡板内壁设置若干组支撑杆，支撑杆相对方向侧壁均对应设置若干等距离分布的导轨槽，本实用新型提供一种圆片盒清洗烘干的载体装置，工作时，将圆晶片盒放置在支撑杆侧壁的导轨槽内，通过支撑杆对导轨槽内的圆晶片盒进行稳固，利用驱动电机传动，带动旋转轴转动，进行偏心运动，实现圆晶片盒在清洗烘干过程中处于运动状态，清洗不留死角，干燥充分，提升圆晶片盒清洗工作的效率。

技术领域

本实用新型涉及一种清洗工具技术领域，具体是一种圆片盒清洗烘干的载体装置。

背景技术

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。晶圆盒内部有对称的沟槽，尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边，通常一个晶圆盒装25片晶圆。晶圆盒一般采用耐温，耐磨，防静电添加的半透明塑料材质，不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段。由于半导体的关键尺寸小，图案密集，生产中的颗粒度要求非常严格，晶圆盒必须保证洁净的环境，来连接到不同生产机台的微环境盒反应腔。

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆盒的洁净度要求越来越高，目前在对圆晶片盒进行清理时，由于圆晶片盒固定放置在载体架内进行清理，这样导致清理不全面，会存在一些死角难以清理，且烘干过程占用时间久，降低工作效率，为此，发明人综合上各类因素提出一种圆片盒清洗烘干的载体装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种圆片盒清洗烘干的载体装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种圆片盒清洗烘干的载体装置，包括底框，所述底框两侧框壁上方分别对应设置固定杆，固定杆为拱形杆，所述固定杆底部两侧垂直安装在底框两侧，两侧固定杆外侧均设置挡板，挡板两侧沿底框前部框壁方向设置支撑板，支撑板垂直安装在挡板上，所述两侧挡板内壁设置若干支撑杆，支撑杆两根为一组两梁支撑杆相对方向侧壁分布对应设置若干等距离分布的导轨槽，对应导轨槽内设置圆晶片盒，圆晶片盒底部设置旋转轴，旋转轴一侧安装在右侧挡板上，另一侧穿过左侧挡板延伸至外侧，所述左侧挡板对应旋转轴设置通孔。

工作时，将圆晶片盒放置在支撑杆侧壁的导轨槽内，通过支撑杆对导轨槽内的圆晶片盒进行稳固，利用驱动电机传动，带动旋转轴转动，进行偏心运动，实现圆晶片盒在清洗烘干过程中处于运动状态，清洗不留死角，干燥充分，提升圆晶片盒清洗工作的效率。

作为本实用新型的进一步方案：所述所述右侧挡板内侧壁设置固定器，固定器上方设置固定圆盘，所述固定器连接在旋转轴右侧，所述固定圆盘连接支撑杆右侧，通过固定圆盘与固定器提升圆晶置放的稳定性。

作为本实用新型的再进一步方案：所述支撑杆由不锈钢管加工而成，支撑杆外套塑料管件，整体轴铣扁，形成三边扁圆形，利用偏心的原理，使清洗和干燥过程中呈现运动状态。

作为本实用新型的再进一步方案：所述固定杆、底框、挡板与支撑板均为洁净不锈钢材质，保证强度的同时，也保证洁净度。

作为本实用新型的再进一步方案：所述圆晶片盒定位采用卡槽式，材质采用NPP内衬不锈钢棒，既可以保证整体强度，又可以使圆晶片盒在卡槽内自由转动。

作为本实用新型的再进一步方案：所述支撑杆两侧设置若干托板，托板安装在两侧挡板内侧壁，通过调节托板位置可以用于不同规格圆晶片盒的装载。

作为本实用新型的再进一步方案：所述托板为倒拱形板，托板材质为洁净不锈钢，提升支撑杆的稳固性的同时，也保证洁净度。

与现有技术相比，本实用新型具有以下几个方面的有益效果：