[实用新型]一种晶圆下片设备

权利要求书

1.一种晶圆下片设备，其特征在于：包括壳体(1)、圆形管(5)、连接管(6)、第一管道(7)、第二管道(9)以及调节管道(8)，所述壳体(1)为圆形空腔结构，且所述壳体(1)的外端均匀开设有若干个通孔(3)，所述壳体(1)内均匀固定连接有若干个圆形管(5)，且所述圆形管(5)为同心圆设置；每个所述圆形管(5)上均匀设置有若干个吸头(4)，且所述吸头(4)通过通孔(3)穿过壳体(1)位于壳体(1)的外端；

所述连接管(6)与圆形管(5)连接，且所述连接管(6)与圆形管(5)内相通，所述连接管(6)与第一管道(7)相通固定连接，且所述第一管道(7)通过调节管道(8)与第二管道(9)连接；

所述调节管道(8)上开设有连接凸起(21)，且所述连接凸起(21)内部为空腔结构，所述连接管(6)内固定连接有固定块(10)，且所述固定块(10)上均匀开设有若干个吸气孔(22)，所述连接凸起(21)内滑动连接有调节块(11)，且所述连接凸起(21)内还固定连接有固定板(12)，且所述调节块(11)的顶端固定连接有滑杆(14)，且所述滑杆(14)穿过固定板(12)与滑板(17)固定连接，所述滑板(17)的顶端转动连接有螺纹杆(15)；

所述连接凸起(21)的顶端开设有螺纹孔，且所述螺纹杆(15)通过螺纹孔螺纹连接于连接凸起(21)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：还包括套管(18)、套杆(19)以及弹簧(20)，所述套杆(19)固定连接于滑板(17)的顶端，所述套管(18)固定连接于连接凸起(21)的内顶端，且所述套杆(19)滑动连接于套管(18)，所述套杆(19)以及套管(18)上套设有弹簧(20)，且所述弹簧(20)的两端分别与滑板(17)以及连接凸起(21)的内顶端连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：所述滑杆(14)贯穿固定板(12)的位置固定镶嵌有密封圈(13)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：所述壳体(1)的外端还固定连接有软垫(2)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：位于所述连接凸起(21)的顶端的螺纹杆(15)固定连接有把手(16)。