[实用新型]一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构

权利要求书

1.一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，包括下电极托盘（1）和支撑托盘（2），其特征在于：所述下电极托盘（1）的底部设有所述支撑托盘（2），所述下电极托盘（1）的底部和所述支撑托盘（2）的顶部均均匀开设有若干凹槽（3），且上下两侧所述凹槽（3）内放置有多程U型管（4），所述下电极托盘（1）的顶部均匀开设有放置槽（5），所述放置槽（5）的底部轴心处开设有第一吸附孔（6），且所述第一吸附孔（6）贯穿所述下电极托盘（1），所述第一吸附孔（6）相对应的所述支撑托盘（2）上开设有第二吸附孔（7），所述第二吸附孔（7）贯穿所述支撑托盘（2）的顶壁与所述支撑托盘（2）的真空腔相连通，所述支撑托盘（2）的底部开设有与所述支撑托盘（2）的真空腔相连通的连通孔（8）。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，其特征在于：所述下电极托盘（1）和所述支撑托盘（2）的四角对应设有固定耳板（9），且上下两侧所述固定耳板（9）通过螺栓相固定。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，其特征在于：所述下电极托盘（1）和所述支撑托盘（2）之间的四周边缘处通过密封焊接设置。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，其特征在于：所述凹槽（3）和所述放置槽（5）呈交错结构设置。

5.根据权利要求1所述的一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，其特征在于：所述多程U型管（4）为高导热铝合金管材质制成，且所述多程U型管（4）的一端与外部冷却水进入管相连通，另一端与外部冷却水排出管相连通。

6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，其特征在于：所述放置槽（5）在横向和纵向上均呈八组排列的矩形陈列结构设置。

7.根据权利要求1所述的一种刻蚀机用刻蚀电极的下电极结构，其特征在于：所述连通孔（8）与外部真空抽气装置的抽气管相连通。