[实用新型]一种改进型单晶硅双面抛光机有效
申请号: | 202021754896.X | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN213106226U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 陈峰 | 申请(专利权)人: | 浙江众晶电子有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00 |
代理公司: | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人: | 钱磊 |
地址: | 324302 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进型 单晶硅 双面 抛光机 | ||
1.一种改进型单晶硅双面抛光机,包括底座(1)、支撑柱(2)、抛光组件(3)、调节杆(4)、移动块(5)、锁紧旋钮(6)、安装板(7)、夹持组件(8)和单晶硅本体(9),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的右侧设置有抛光组件(3),所述底座(1)的顶部固定安装有调节杆(4),所述调节杆(4)的表面滑动连接有移动块(5),所述移动块(5)的正表面设置有锁紧旋钮(6),所述移动块(5)的顶部固定安装有安装板(7),所述安装板(7)的左侧表面固定安装有夹持组件(8),所述夹持组件(8)的设置有单晶硅本体(9);
所述抛光组件(3)包括驱动电机(301)、正向螺杆(302)、反向螺杆(303)、联轴器(304)、第一抛光轮(305)和第二抛光轮(306),所述支撑柱(2)的顶部固定安装有驱动电机(301),所述驱动电机(301)的动力输出端固定安装有正向螺杆(302),所述正向螺杆(302)的底端固定安装有反向螺杆(303),所述反向螺杆(303)的表面固定安装有联轴器(304),所述正向螺杆(302)的表面活动连接有第一抛光轮(305),所述反向螺杆(303)的表面活动连接有第二抛光轮(306);
所述夹持组件(8)包括固定板(801)、滑轨(802)、滑块(803)、气缸(804)、齿条(805)、齿轮(806)和夹臂(807),所述安装板(7)的左侧固定安装有固定板(801),所述固定板(801)的表面固定安装有滑轨(802),所述滑轨(802)的表面滑动连接有滑块(803),所述滑块(803)的顶部表面固定安装有气缸(804),所述滑块(803)的两侧固定安装有齿条(805),所述齿条(805)的表面传动连接有齿轮(806),所述齿轮(806)的顶部固定安装有夹臂(807)。
2.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述正向螺杆(302)与反向螺杆(303)之间通过联轴器(304)固定安装,且正向螺杆(302)与反向螺杆(303)的表面均活动连接有调节块,第一抛光轮(305)和第二抛光轮(306)均固定安装在调节块的表面。
3.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述支撑柱(2)的右侧开设有与第一抛光轮(305)和第二抛光轮(306)相适配的矩形活动槽。
4.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有横板,且调节杆(4)固定安装在横板相对的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述气缸(804)的动力输出端固定安装在滑块(803)的顶部表面,且其尾端固定安装在固定板(801)的表面。
6.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述齿轮(806)通过转轴活动连接在固定板(801)的表面,且齿轮(806)的顶部表面固定安装有圆杆,夹臂(807)通过圆杆与齿轮(806)固定安装。
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