[实用新型]一种改进型单晶硅双面抛光机有效

专利信息
申请号: 202021754896.X 申请日: 2020-08-20
公开(公告)号: CN213106226U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 陈峰 申请(专利权)人: 浙江众晶电子有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324302 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 改进型 单晶硅 双面 抛光机
【权利要求书】:

1.一种改进型单晶硅双面抛光机,包括底座(1)、支撑柱(2)、抛光组件(3)、调节杆(4)、移动块(5)、锁紧旋钮(6)、安装板(7)、夹持组件(8)和单晶硅本体(9),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的右侧设置有抛光组件(3),所述底座(1)的顶部固定安装有调节杆(4),所述调节杆(4)的表面滑动连接有移动块(5),所述移动块(5)的正表面设置有锁紧旋钮(6),所述移动块(5)的顶部固定安装有安装板(7),所述安装板(7)的左侧表面固定安装有夹持组件(8),所述夹持组件(8)的设置有单晶硅本体(9);

所述抛光组件(3)包括驱动电机(301)、正向螺杆(302)、反向螺杆(303)、联轴器(304)、第一抛光轮(305)和第二抛光轮(306),所述支撑柱(2)的顶部固定安装有驱动电机(301),所述驱动电机(301)的动力输出端固定安装有正向螺杆(302),所述正向螺杆(302)的底端固定安装有反向螺杆(303),所述反向螺杆(303)的表面固定安装有联轴器(304),所述正向螺杆(302)的表面活动连接有第一抛光轮(305),所述反向螺杆(303)的表面活动连接有第二抛光轮(306);

所述夹持组件(8)包括固定板(801)、滑轨(802)、滑块(803)、气缸(804)、齿条(805)、齿轮(806)和夹臂(807),所述安装板(7)的左侧固定安装有固定板(801),所述固定板(801)的表面固定安装有滑轨(802),所述滑轨(802)的表面滑动连接有滑块(803),所述滑块(803)的顶部表面固定安装有气缸(804),所述滑块(803)的两侧固定安装有齿条(805),所述齿条(805)的表面传动连接有齿轮(806),所述齿轮(806)的顶部固定安装有夹臂(807)。

2.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述正向螺杆(302)与反向螺杆(303)之间通过联轴器(304)固定安装,且正向螺杆(302)与反向螺杆(303)的表面均活动连接有调节块,第一抛光轮(305)和第二抛光轮(306)均固定安装在调节块的表面。

3.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述支撑柱(2)的右侧开设有与第一抛光轮(305)和第二抛光轮(306)相适配的矩形活动槽。

4.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述底座(1)的顶部固定安装有横板,且调节杆(4)固定安装在横板相对的一侧。

5.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述气缸(804)的动力输出端固定安装在滑块(803)的顶部表面,且其尾端固定安装在固定板(801)的表面。

6.根据权利要求1所述的一种改进型单晶硅双面抛光机,其特征在于:所述齿轮(806)通过转轴活动连接在固定板(801)的表面,且齿轮(806)的顶部表面固定安装有圆杆,夹臂(807)通过圆杆与齿轮(806)固定安装。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江众晶电子有限公司,未经浙江众晶电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021754896.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top