[实用新型]一种改进型单晶硅双面抛光机

说明书

本实用新型公开了一种改进型单晶硅双面抛光机，包括底座、支撑柱、抛光组件、调节杆、移动块、锁紧旋钮、安装板、夹持组件和单晶硅本体，所述底座的顶部固定安装有支撑柱，所述支撑柱的右侧设置有抛光组件，所述底座的顶部固定安装有调节杆，所述调节杆的表面滑动连接有移动块，所述移动块的正表面设置有锁紧旋钮，所述移动块的顶部固定安装有安装板，所述安装板的左侧表面固定安装有夹持组件。本实用新型通过对常用的抛光设备进行改进，使其在使用时能够同时对单晶硅的两个面进行加工，大大提高了加工的效率，通过设置的夹持组件，使其在使用时能够将单晶硅本体稳固夹持，防止单晶硅本体在加工的过程中发生位移。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种改进型单晶硅双面抛光机。

背景技术

半导体的导电能力介于导体和绝缘体之间，硅、锗、砷化镓和硫化镉都是半导体材料，半导体材料的电阻率随着温度升高和辐射强度的增大而减小，在半导体中加入微量的杂质，对其导电性有决定性影响，这是半导体材料的重要特性。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。

常用的单晶硅抛光设备在使用时只能一个面一个面进行加工，当一个面加工完成后，需要人力换面，操作繁琐，且在抛光的过程中容易发生位移，从而对抛光的质量带来影响，实用性不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种改进型单晶硅双面抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改进型单晶硅双面抛光机，包括底座、支撑柱、抛光组件、调节杆、移动块、锁紧旋钮、安装板、夹持组件和单晶硅本体，所述底座的顶部固定安装有支撑柱，所述支撑柱的右侧设置有抛光组件，所述底座的顶部固定安装有调节杆，所述调节杆的表面滑动连接有移动块，所述移动块的正表面设置有锁紧旋钮，所述移动块的顶部固定安装有安装板，所述安装板的左侧表面固定安装有夹持组件，所述夹持组件的设置有单晶硅本体。

所述抛光组件包括驱动电机、正向螺杆、反向螺杆、联轴器、第一抛光轮和第二抛光轮，所述支撑柱的顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的动力输出端固定安装有正向螺杆，所述正向螺杆的底端固定安装有反向螺杆，所述反向螺杆的表面固定安装有联轴器，所述正向螺杆的表面活动连接有第一抛光轮，所述反向螺杆的表面活动连接有第二抛光轮。

所述夹持组件包括固定板、滑轨、滑块、气缸、齿条、齿轮和夹臂，所述安装板的左侧固定安装有固定板，所述固定板的表面固定安装有滑轨，所述滑轨的表面滑动连接有滑块，所述滑块的顶部表面固定安装有气缸，所述滑块的两侧固定安装有齿条，所述齿条的表面传动连接有齿轮，所述齿轮的顶部固定安装有夹臂。

优选的，所述正向螺杆与反向螺杆之间通过联轴器固定安装，且正向螺杆与反向螺杆的表面均活动连接有调节块，第一抛光轮和第二抛光轮局固定安装在调节块的表面。

优选的，所述支撑柱的右侧开设有与第一抛光轮和第二抛光轮相适配的矩形活动槽。

优选的，所述底座的顶部固定安装有横板，且调节杆固定安装在横板相对的一侧。

优选的，所述气缸的动力输出端固定安装在滑块的顶部表面，且其尾端固定安装在固定板的表面。

优选的，所述齿轮通过转轴活动连接在固定板的表面，且齿轮的顶部表面固定安装有圆杆，夹臂通过圆杆与齿轮固定安装。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该改进型单晶硅双面抛光机，通过对常用的抛光设备进行改进，使其在使用时能够同时对单晶硅的两个面进行加工，省时省力，大大提高了加工的效率，且其结构简单，易于实现。