[实用新型]一种射频芯片测试设备

权利要求书

1.一种射频芯片测试设备，其特征在于，包括：

限位装置，所述限位装置用于对待测试芯片进行限位；

高度位置检测装置，所述高度位置检测装置设置在限位装置的外侧，所述高度位置检测装置用于检测待测试芯片的高度误差值；

水平位置检测装置，所述水平位置检测装置用于检测待测试芯片的水平位置；

微针座，所述微针座上设置有用于连接待测试芯片的微针；

第一运动机构，所述微针座设置在第一运动机构上，所述第一运动机构用于驱动微针座根据高度位置检测装置检测出的高度误差值和水平位置检测装置检测出的水平位置进行微针连接；

测试系统，所述测试系统与微针连接，所述测试系统用于通过微针对待测试芯片进行测试。

2.根据权利要求1所述的一种射频芯片测试设备，其特征在于，所述限位装置包括真空盘和限位框，所述限位框设置在真空盘上，所述真空盘上设置有真空吸附口，所述限位框上设置有限位口，所述限位口的形状和待测试芯片的形状相匹配，所述限位口的位置和真空吸附口的位置相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种射频芯片测试设备，其特征在于，所述高度位置检测装置包括激光发生器和激光接收器。

4.根据权利要求1所述的一种射频芯片测试设备，其特征在于，所述水平位置检测装置包括显微镜视觉系统。

5.根据权利要求4所述的一种射频芯片测试设备，其特征在于，还包括第二运动机构，所述显微镜视觉系统设置在第二运动机构上，所述第二运动机构用于驱动显微镜视觉系统进行位置调整。

6.根据权利要求1所述的一种射频芯片测试设备，其特征在于，还包括第三运动机构，所述限位装置设置在第三运动机构上，所述第三运动机构用于驱动限位装置进行位置调整。