[实用新型]电镀载具

权利要求书

1.一种电镀载具，其特征在于，所述电镀载具包括阳极底板、导电板及盖板，所述导电板包括导电板本体及与所述导电板本体相连接的导电线，所述阳极底板上设置有容纳凹槽及与所述容纳凹槽相连通的线槽，所述导电板本体嵌设于所述容纳凹槽内，所述导电线嵌设于所述线槽内，待电镀的晶圆位于所述导电板本体的表面，所述盖板覆盖所述晶圆的周向边缘，所述盖板与所述阳极底板相固定。

2.根据权利要求1所述的电镀载具，其特征在于：所述导电板本体沿周向间隔分布有多个凸块，所述阳极底板沿周向间隔分布有多个卡槽，所述凸块一一对应嵌设于所述卡槽内。

3.根据权利要求2所述的电镀载具，其特征在于：所述凸块上设置有通孔，紧固件穿过所述通孔以将所述阳极底板和所述导电板本体相固定。

4.根据权利要求2所述的电镀载具，其特征在于：所述卡槽的侧壁具有倾斜坡面，所述凸块与所述倾斜坡面相接触。

5.根据权利要求1所述的电镀载具，其特征在于：所述盖板与所述阳极底板通过多个螺丝相固定。

6.根据权利要求1所述的电镀载具，其特征在于：所述导电板为钛板。

7.根据权利要求1所述的电镀载具，其特征在于：所述盖板为矩形板，所述矩形板上设置有圆形孔，所述圆形孔的尺寸与所述晶圆的待电镀区域尺寸相匹配。

8.根据权利要求1所述的电镀载具，其特征在于：所述导电线上设置有多个连接孔，紧固件穿过所述连接孔将所述导电线固定于所述阳极底板的线槽内。