[实用新型]一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置有效
申请号: | 202021775091.3 | 申请日: | 2020-08-22 |
公开(公告)号: | CN212476946U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 王维 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 侯巍巍 |
地址: | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用副炉室 升降 旋转 装置 | ||
1.一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,其特征在于:包括支撑架(1)、升降机构(2)、旋转机构(3)和连接副炉室的连接机构(4),所述的支撑架(1)与主炉室机架相连,支撑架(1)上设置有主轴(5),所述的升降机构(2)设置在支撑架(1)上并与主轴(5)活动连接,所述的旋转机构(3)设置在支撑架(1)的顶部并与主轴(5)相连接,所述的连接机构(4)的一端与升降机构(2)相连接,其另一端与旋转机构(3)相连接,连接机构(4)设置在主轴(5)的侧面并与主轴(5)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的支撑架(1)包括主体柱(11),所述的主体柱(11)的底部与主炉体的机架相连接,所述的主轴(5)固定连接在主体柱(11)的侧面上,在主体柱(11)与主轴(5)相对的侧面上由下至上依次设置有第一支承座(6)、第二支承座(7)和第三支承座(8),主轴(5)的一端由下至上依次穿过第一支承座(6)、第二支承座(7)和第三支承座(8),在主体柱(11)上远离主轴(5)的一侧面上设置有杆件(30),所述的杆件(30)向外延伸的端头上设置有副炉室内旋行程限位开关(40)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的主体柱(11)上设置有副炉室下降行程限位开关(9)和副炉室上升行程位移限位开关(10),所述的副炉室下降行程限位开关(9)位于副炉室上升行程位移限位开关(10)的下方,所述的副炉室上升行程位移限位开关(10)位于第一支承座(6)下方。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的升降机构(2)包括第一电机(21)、第一蜗轮蜗杆减速机(22)和丝杠(23),所述的第一蜗轮蜗杆减速机(22)固定连接在主体柱(11)上,第一蜗轮蜗杆减速机(22)与第一电机(21)相连接,所述的丝杠(23)位于第一蜗轮蜗杆减速机(22)的顶端,在丝杠(23)上由下至上依次套装有第一螺母(24)、第二螺母(25)和支撑座(26),所述的第二螺母(25)与支撑座(26)固定连接,所述的第二螺母(25)与第一螺母(24)纵向固定连接,所述的主轴(5)的末端插入支撑座(26)内并固定连接,丝杠(23)的一端穿过第一螺母(24)、第二螺母(25)和支撑座(26)并延伸进主轴(5)内,所述的支撑座(26)与主体柱(11)滑动连接并位于副炉室下降行程限位开关(9)与副炉室上升行程位移限位开关(10)之间,所述的副炉室下降行程限位开关(9)位于第一螺母(24)与第一蜗轮蜗杆减速机(22)之间。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的主体柱(11)上设置有导轨(50),所述的导轨(50)位于第一支承座(6)的下方,支撑座(26)靠近主体柱(11)的侧面上开设有与导轨(50)配合使用的滑槽,支撑座(26)与导轨(50)滑动连接。
6.根据权利要求2所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的连接机构(4)包括旋臂组件(41)和至少一个连接组件(42),所述的旋臂组件(41)与连接组件(42)固定连接;
所述的旋臂组件(41)包括第一连接柱(411)和第二连接柱(412),所述的第一连接柱(411)与主轴(5)相连接,所述的第一连接柱(411)与第二连接柱(412)相互平行并连接;
所述的连接组件(42)包括连接块(421)和至少一块与连接块(421)相连接的夹块(422),所述的连接块(421)与副炉室相连接,所述的夹块(422)与连接块(421)浮动连接,夹块(422)与第二连接柱(412)固定连接。
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