[实用新型]一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置有效
申请号: | 202021775091.3 | 申请日: | 2020-08-22 |
公开(公告)号: | CN212476946U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 王维 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 侯巍巍 |
地址: | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用副炉室 升降 旋转 装置 | ||
本申请涉及一种涉及单晶炉的领域,尤其是一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。本申请具有提高了单晶炉运行的稳定性,保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠运行的效果。
技术领域
本申请涉及单晶炉的领域,尤其是涉及一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置。
背景技术
目前,单晶炉是生产太阳能级单晶硅棒产能最高的设备,为了进一步提高其产能,降低生产成本,提高单晶硅棒生产效率,众多硅棒制造厂商多采用单炉多次加料,多次拉制单晶硅棒的办法来提套产能。这就要求单晶炉在制备硅棒时副炉室被多次升起和旋开以实现多次加料。
目前市场上的单晶炉装备副炉室升降装置多采用液压驱动,该方法成本比较高,后期维护也不是很方便;旋转装置多采用楔形轮的方式驱动,该方式在副室炉频繁旋转过程中,楔形带容易松弛、打滑,同时,楔形带长时间使用易产生疲劳,发生断裂。
针对上述中的相关技术,发明人认为存在有单晶炉副炉室升降与旋转装置的运行不稳定、可靠性低的缺陷。
实用新型内容
为了提高单晶炉副炉室升降与旋转装置的稳定性和可靠性,本申请提供一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置。
本申请提供的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置采用如下的技术方案:
一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。
通过采用上述技术方案,连接机构与副炉室相连接,当需要打开副炉室时,升降机构带动连接机构进行升起,从而带动副炉室升起,连接机构升起后,旋转机构启动,带动连接机构以主轴为轴并围绕主轴向外旋转,从而带动副炉室向外旋转,单晶炉副炉室打开;当需要关闭副炉室时,旋转机构启动,带动连接机构向内旋转,从而带动副炉室向内旋转,副炉室停止内旋,升降机构启动,带动连接机构下降,从而带动副炉室下降,副炉室关闭。升降机构、旋转机构和连接机构能够稳定、灵活的完成副炉室的开关,提高了单晶炉运行的可靠性。
优选的,所述的的机架包括主体柱,所述的主体柱的底部与主炉体的机架相连接,所述的主轴固定连接在主体柱的侧面上,在主体柱与主轴相对的侧面上由下至上依次设置有第一支承座、第二支承座和第三支承座,主轴的一端由下至上依次穿过第一支承座、第二支承座和第三支承座,主体柱上设置有滑轨,在主体柱上远离主轴的一侧面上设置有杆件,所述的杆件向外延伸的端头上设置有副炉室内旋行程限位开关。
通过采用上述技术方案,主轴贯穿升降机构、旋转机构和连接机构,主轴与支撑架固定连接,从而使升降机构、旋转机构和连接机构设置在主体柱上,杆件上设置的副炉室内旋行程限位开关,可以对副炉室的向内旋转的位置进行限位。副炉室的升降和旋转通过升降机构、旋转机构和连接机构实现,副炉室内旋行程限位开关使副炉室旋转到位置时自动停止,保证副炉室的旋转不发生偏移。
优选的,所述的主体柱上设置有副炉室下降行程限位开关和副炉室上升行程位移限位开关,所述的副炉室下降行程限位开关位于副炉室上升行程位移限位开关的下方,所述的副炉室上升行程位移限位开关位于第一支承座下方。
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