[实用新型]一种硅片吸盘

权利要求书

1.一种硅片吸盘，其特征在于，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横板上设置有支向腔道，所述支向腔道与所述真空腔道相连通，所述本体的吸附面上开设有主吸气孔，所述主吸气孔与所述真空腔道相通，所述横板的吸附面上均开设有副吸气孔，所述副吸气孔与所述支向腔道相通，所述封板与所述吸板密封连接。

2.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体两侧分别开设有便于装配定位的限位槽，所述限位槽设置在靠近所述吸气口位置。

3.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述真空腔道上设置有多个分隔块，所述分隔块将所述真空腔道分隔成多条相互连通的导向风道，所述主吸气孔设置在多条导向风道相交位置。

4.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体以及两横板为一体成型结构。

5.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，两横板平行设置在所述本体上，两横板之间设置有容置槽，所述容置槽的宽度与大于或者等于所述横板的宽度。

6.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，还包括导向板，所述导向板与本体、远离吸气口的横板连接，所述导向板两侧设置有导向斜面。

7.如权利要求6所述的硅片吸盘，其特征在于，所述导向板横截面为三角形或者梯形。

8.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体、横板的吸附面上均设置有海绵密封板。

9.如权利要求1所述的硅片吸盘，其特征在于，所述本体上设置有延伸板，所述延伸板上开设有与所述真空腔道相通的延伸腔道，所述延伸板的吸附面上设置有延伸吸气孔，所述延伸吸气孔与所述延伸腔道相通。

10.如权利要求9所述的硅片吸盘，其特征在于，所述延伸板与横板之间设置有定位槽，所述定位槽外形与所述横板外形相匹配，且所述延伸板的长度大于或等于所述横板的宽度。