[实用新型]一种硅片吸盘

说明书

本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。

技术领域

本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。

背景技术

在硅片的加工过程中，对于较大尺寸、薄片成品和半成品要求整齐搬运，以便于下道工序的加工。如果采用人工移运、卸料进行堆码摆放，不仅需要消耗大量的人力成本，而且容易造成硅片的损坏。

为了便于对较大尺寸的硅片进行搬运和码垛，现在多采用机械搬运、或者是机械配合吸盘搬运的方式；目前，大多采用吸盘来吸取硅片，然后配合移动模组等方式来转运。然而，吸盘与较大尺寸的硅片接触面积小，吸盘负荷较大，常常导致吸盘出现吸不牢、吸附的时间短等问题，容易将硅片掉下来，不能满足较大尺寸的硅片的生产需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，硅片在搬运中不会颤动的硅片吸盘。

为了解决上述技术问题，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种硅片吸盘，包括吸板以及封板，所述吸板包括本体以及两横板，所述本体一端设置有吸气口，两横板设置在所述本体上，所述本体上开设有真空腔道，所述吸气口与真空腔道相通，所述横板上设置有支向腔道，所述支向腔道与所述真空腔道相连通，所述本体的吸附面上开设有主吸气孔，所述主吸气孔与所述真空腔道相通，所述横板的吸附面上均开设有副吸气孔，所述副吸气孔与所述支向腔道相通，所述封板与所述吸板密封连接。

进一步地，所述本体两侧分别开设有便于装配定位的限位槽，所述限位槽设置在靠近所述吸气口位置。

进一步地，所述真空腔道上设置有多个分隔块，所述分隔块将所述真空腔道分隔成多条相互连通的导向风道，所述主吸气孔设置在多条导向风道相交位置。

进一步地，所述本体以及两横板为一体成型结构。

进一步地，两横板平行设置在所述本体上，两横板之间设置有容置槽，所述容置槽的宽度与大于或者等于所述横板的宽度。

进一步地，还包括导向板，所述导向板与本体、远离吸气口的横板连接，所述导向板两侧设置有导向斜面。

进一步地，所述导向板横截面为三角形或者梯形。

进一步地，所述本体、横板的吸附面上均设置有海绵密封板。

进一步地，所述本体上设置有延伸板，所述延伸板上开设有与所述真空腔道相通的延伸腔道，所述延伸板的吸附面上设置有延伸吸气孔，所述延伸吸气孔与所述延伸腔道相通。

进一步地，所述延伸板与横板之间设置有定位槽，所述定位槽外形与所述横板外形相匹配，且所述延伸板的长度大于或等于所述横板的宽度。

本实用新型的有益效果：

本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。

附图说明

图1是本实用新型的一种硅片吸盘结构示意图。

图2是本实用新型的立体示意图一。

图3是本实用新型的立体示意图二。

图4是本实用新型的装配示意图。