[实用新型]夹具装置有效
申请号: | 202021791216.1 | 申请日: | 2020-08-25 |
公开(公告)号: | CN212848354U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 方圭龙;金贤正 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 王建国;许伟群 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 装置 | ||
1.一种夹具装置,包括:
第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于转动轴;
第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;
支承垫,设置于所述第一夹紧部件的基板支承面或所述第二夹紧部件的基板支承面,并与所述基板接触;以及
致动器,通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件,并构成为使所述第一夹紧部件以所述转动轴为中心旋转。
2.根据权利要求1所述的夹具装置,其特征在于,
所述支承垫由与所述基板相比具有更大弹性力的材料形成。
3.一种夹具装置,包括:
第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于转动轴;
第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;
致动器,通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件;以及
调节器,当所述基板位于所述第一夹紧部件与所述第二夹紧部件之间时,所述调节器调节所述致动器内部的压力,以使所述基板的第一面接触于所述第一夹紧部件的基板支承面。
4.一种夹具装置,包括:
第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于转动轴;
第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;以及
致动器,通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件,
所述第一夹紧部件朝向所述基板的前端弯曲。
5.一种夹具装置,包括:
第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的第一基板支承面,并以能够转动的方式连接于第一转动轴;
第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的第二基板支承面;
驱动力传递杆,通过第二转动轴以能够转动的方式连接于所述第一夹紧部件;以及
致动器,通过所述驱动力传递杆向所述第一夹紧部件提供驱动力,
在所述第一基板支承面和所述第二基板支承面彼此接触的状态下,与所述第一转动轴的中心相比,所述第二转动轴的中心位于更靠近所述第一夹紧部件和所述第二夹紧部件的位置。
6.一种夹具装置,包括:
第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于第一转动轴;
第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;
底座,设置有支承所述第一转动轴的转动轴支架;
驱动力传递杆,通过第二转动轴以能够转动的方式连接于所述第一夹紧部件;
致动器,通过所述驱动力传递杆向所述第一夹紧部件提供驱动力;以及
致动器转动轴,所述致动器以能够转动的方式支承于所述致动器转动轴,
所述驱动力传递杆的延伸线经过所述致动器转动轴的中心或者位于所述底座与所述致动器转动轴的中心之间。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的夹具装置,其特征在于,
支承于所述第一夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第一面的支承面积比支承于所述第二夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第二面的支承面积小。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造