[实用新型]夹具装置有效

专利信息
申请号: 202021791216.1 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN212848354U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 方圭龙;金贤正 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 王建国;许伟群
地址: 韩国庆*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 夹具 装置
【权利要求书】:

1.一种夹具装置,包括:

第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于转动轴;

第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;

支承垫,设置于所述第一夹紧部件的基板支承面或所述第二夹紧部件的基板支承面,并与所述基板接触;以及

致动器,通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件,并构成为使所述第一夹紧部件以所述转动轴为中心旋转。

2.根据权利要求1所述的夹具装置,其特征在于,

所述支承垫由与所述基板相比具有更大弹性力的材料形成。

3.一种夹具装置,包括:

第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于转动轴;

第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;

致动器,通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件;以及

调节器,当所述基板位于所述第一夹紧部件与所述第二夹紧部件之间时,所述调节器调节所述致动器内部的压力,以使所述基板的第一面接触于所述第一夹紧部件的基板支承面。

4.一种夹具装置,包括:

第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于转动轴;

第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;以及

致动器,通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件,

所述第一夹紧部件朝向所述基板的前端弯曲。

5.一种夹具装置,包括:

第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的第一基板支承面,并以能够转动的方式连接于第一转动轴;

第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的第二基板支承面;

驱动力传递杆,通过第二转动轴以能够转动的方式连接于所述第一夹紧部件;以及

致动器,通过所述驱动力传递杆向所述第一夹紧部件提供驱动力,

在所述第一基板支承面和所述第二基板支承面彼此接触的状态下,与所述第一转动轴的中心相比,所述第二转动轴的中心位于更靠近所述第一夹紧部件和所述第二夹紧部件的位置。

6.一种夹具装置,包括:

第一夹紧部件,具有支承基板的第一面的基板支承面,并以能够转动的方式连接于第一转动轴;

第二夹紧部件,具有支承所述基板的第二面的基板支承面;

底座,设置有支承所述第一转动轴的转动轴支架;

驱动力传递杆,通过第二转动轴以能够转动的方式连接于所述第一夹紧部件;

致动器,通过所述驱动力传递杆向所述第一夹紧部件提供驱动力;以及

致动器转动轴,所述致动器以能够转动的方式支承于所述致动器转动轴,

所述驱动力传递杆的延伸线经过所述致动器转动轴的中心或者位于所述底座与所述致动器转动轴的中心之间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的夹具装置,其特征在于,

支承于所述第一夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第一面的支承面积比支承于所述第二夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第二面的支承面积小。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于塔工程有限公司,未经塔工程有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021791216.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top