[实用新型]夹具装置

说明书

本实用新型的实施例提供一种夹具装置，其可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面；支承垫，设置于所述第一夹紧部件的基板支承面或所述第二夹紧部件的基板支承面，并与所述基板接触；以及致动器，通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件，并构成为使所述第一夹紧部件以所述转动轴为中心能够旋转的方式构成。

技术领域

本实用新型涉及一种以能够夹持基板的方式构成的夹具装置。

背景技术

一般而言，在制造显示面板、半导体等的工艺中，使用对基板执行预定处理的基板处理装置。

在基板处理装置对基板执行预定处理的过程中，为了移送基板或从基板分离边料(虚设部(dummy)或碎茬(cullet)，即不用于产品而去除掉的非有效区域)，使用夹持基板的一部分的夹具装置。

夹具装置通常具备一对夹紧部件。在基板位于一对夹紧部件之间的状态下，一对夹紧部件以彼此相邻的方向移动，由此基板被一对夹紧部件夹持。

另一方面，基板处理装置需要处理具有多种厚度的多种基板。但是，在以往的夹具装置的情况下，存在每当基板的厚度变更时为了稳定地夹持基板而需要进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业就能够稳定地去除基板的边料的夹具装置。

用于达到上述目的的本实用新型的实施例提供一种夹具装置，其可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；支承垫，设置于第一夹紧部件的基板支承面或第二夹紧部件的基板支承面，并与基板接触；以及致动器，通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以转动轴为中心旋转。

可以是，支承垫由与基板相比具有更大弹性力的材料形成。

另外，本实用新型的实施例提供一种夹具装置，其可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；致动器，通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于第一夹紧部件；以及调节器，当基板位于第一夹紧部件与第二夹紧部件之间时，调节器调节致动器内部的压力，以使基板的第一面接触于第一夹紧部件的基板支承面。

另外，本实用新型的实施例提供一种夹具装置，其可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并可转动地连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件和驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，第一夹紧部件的朝向基板的前端可以弯曲。

另外，本实用新型的实施例提供一种夹具装置，其可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的第一基板支承面，并以能够转动的方式连接于第一转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的第二基板支承面；驱动力传递杆，通过第二转动轴以能够转动的方式连接于第一夹紧部件；以及致动器，通过驱动力传递杆向第一夹紧部件提供驱动力，在第一基板支承面和第二基板支承面彼此接触的状态下，与第一转动轴的中心相比，第二转动轴的中心位于更靠近第一夹紧部件和第二夹紧部件的位置。