[实用新型]离子过滤装置

权利要求书

1.一种光阻去除工艺中的离子过滤装置，所述光阻去除工艺在反应腔室内进行，其特征在于，包括：

适于放置在所述反应腔室内的多个过滤板，所述多个过滤板沿第一平面相互平行设置，每个所述过滤板上包括多个过滤孔，所述多个过滤板上的过滤孔相互配合形成沿第二方向导通的通孔，至少一个过滤板能够相对于其他过滤板在所述第一平面内移动或旋转以改变所述通孔的大小和位置分布，所述通孔用于阻止所述光阻去除工艺中所产生的离子通过；

其中，所述第二方向垂直于所述第一平面。

2.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述多个过滤板沿所述第二方向彼此之间相互接触。

3.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述多个过滤板上的多个过滤孔的数量、大小和位置都相同。

4.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述多个过滤板是大小相同的圆形板。

5.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述多个过滤板的形状不同。

6.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述多个过滤孔以所述过滤板的圆心为中心呈放射状分布。

7.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述多个过滤孔按照十字型均匀分布在所述过滤板上。

8.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，所述过滤孔是腰型孔。

9.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，还包括连接轴，所述连接轴穿过所述多个过滤板的中心，所述多个过滤板通过所述连接轴彼此活动连接。

10.如权利要求1所述的离子过滤装置，其特征在于，还包括与所述多个过滤板连接的驱动器，所述驱动器用于驱动每个所述过滤板运动到预定位置。