[实用新型]一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架

权利要求书

1.一种用于晶圆机台的风扇安装支架，其特征在于，包括：

支架主体，所述支架主体是包括空腔的直板形主体；

延伸部，所述延伸部由所述支架主体的一端延伸而出，并且所述延伸部也包含空腔；

进气部，所述进气部设置在所述延伸部上；

出气部，所述出气部设置在所述支架主体的另一端上；

其中，与所述进气部相对的所述延伸部侧面与所述支架主体形成钝角。

2.根据权利要求1所述的风扇安装支架，其特征在于，所述进气部为进气开口且与所述延伸部的空腔连通。

3.根据权利要求1所述的风扇安装支架，其特征在于，所述支架主体还包括设置在所述进气部和所述出气部之间的安装部，通过所述安装部将所述风扇安装支架固定安装在晶圆机台的机架箱体的隔板上。

4.根据权利要求1所述的风扇安装支架，其特征在于，所述延伸部的剖面为类直角梯形。

5.根据权利要求1或4所述的风扇安装支架，其特征在于，所述延伸部与所述支架主体一体成型且所述延伸部的空腔与所述支架主体的空腔连通。

6.根据权利要求1所述的风扇安装支架，其特征在于，所述出气部为抽气开口且与所述支架主体的空腔连通。

7.根据权利要求6所述的风扇安装支架，其特征在于，所述风扇安装在所述出气部的抽气开口中。

8.根据权利要求7所述的风扇安装支架，其特征在于，所述风扇为涡轮风扇。

9.一种晶圆机台机架箱体的抽气系统，其特征在于，包括：

机架箱体，所述机架箱体包括设置在所述机架箱体的底部的底板、设置在所述机架箱体的顶部的顶板、以及将所述机架箱体分隔为多个空间且与所述顶板和所述底板平行设置的隔板；

如权利要求1-7任一项所述的风扇安装支架；

安装基座，所述安装基座设置在所述隔板的侧面，且与所述风扇安装支架的安装部固定连接；

其中，所述风扇安装支架的进气部位于所述隔板和所述顶板之间，以使得所述进气部抽走所述隔板和所述顶板之间空间的气体；所述风扇安装支架的出气部位于所述底板和所述隔板之间，所述风扇安装在所述出气部的抽气开口中，以使得所述风扇将从所述进气部抽进的气体排出到所述底板和所述隔板之间的空间。

10.根据权利要求9所述的抽气系统，其特征在于，所述风扇为涡轮风扇。