[实用新型]一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架

说明书

本实用新型涉及一种用于晶圆机台的风扇安装支架，包括：支架主体，支架主体是包括空腔的直板形主体，并且支架主体的一端延伸出延伸部；延伸部包含空腔；进气部，该进气部设置在延伸部上；出气部，该出气部设置在支架主体的另一端上；其中，与进气部相对的延伸部侧面与支架主体形成钝角。本实用新型还涉及一种晶圆机台机架箱体的抽气系统。本实用新型的系统将直流风扇升级为涡轮风扇，避免叶片摩擦其它部件产生碎片颗粒，影响洁净度，通过风扇安装支架的改造，将风扇下移动，避免风扇正对晶圆承载平台。

技术领域

本实用新型属于晶圆机台技术领域，尤其涉及一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架。

背景技术

现有技术中，晶圆机台机架箱体的抽气风扇的进气口和风扇设计到晶圆承载平台所在的层，并且抽气风扇使用直流风扇。这样晶圆机台机架箱体中使用直流风扇对晶圆承载平台所在的空间进行抽气，且直流风扇正对着晶圆承载平台。由于直流风扇的外部具有金属保护罩，当风扇产生故障时，比如叶片轴破裂脱落，叶片与金属保护罩摩擦产生颗粒碎片。风扇脱落造成刮蹭形成的颗粒碎片会对晶圆承载平台上的晶圆的表面造成一定的损伤，使得晶圆报废；并且因为缺少更灵敏的风扇故障检测手段，影响范围广，损失较大。

因此，对于上述问题，仍然需要一种改善的晶圆机台机架箱体的抽气系统和风扇安装支架。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架。

基于上述目的，采用如下技术方案：

根据本实用新型，提供一种用于晶圆机台的风扇安装支架，包括：

支架主体，该支架主体是包括空腔的直板形主体；

延伸部，所述延伸部由所述支架主体的一端延伸而出，并且所述延伸部也包含空腔；

进气部，该进气部设置在延伸部上；

出气部，该出气部设置在支架主体的另一端上；

其中，与进气部相对的延伸部侧面与支架主体形成钝角。

进一步地，进气部为进气开口且与延伸部的空腔连通。

进一步地，支架主体还包括设置在进气部和出气部之间的安装部，通过安装部将风扇安装支架固定安装在晶圆机台的机架箱体的隔板上。

进一步地，延伸部的剖面为类直角梯形。

进一步地，延伸部与支架主体一体成型且延伸部的空腔与支架主体的空腔连通。

进一步地，出气部为抽气开口且与支架主体的空腔连通。

进一步地，风扇安装在出气部的抽气开口中。

进一步地，风扇为涡轮风扇。

根据本实用新型，提供一种晶圆机台机架箱体的抽气系统，包括：

机架箱体，该机架箱体包括设置在机架箱体的底部的底板、设置在机架箱体的顶部的顶板、以及将机架箱体分隔为多个空间且与顶板和底板平行设置的隔板；

如上所述的风扇安装支架；

安装基座，该安装基座设置在隔板的侧面，且与风扇安装支架的安装部固定连接；

其中，风扇安装支架的进气部位于隔板和顶板之间，以使得进气部抽走隔板和顶板之间空间的气体；风扇安装支架的出气部位于底板和隔板之间，风扇安装在出气部的抽气开口中，以使得风扇将从进气部抽进的气体排出到底板和隔板之间的空间。

进一步地，风扇为涡轮风扇。