[实用新型]单晶硅片清洗装置

权利要求书

1.单晶硅片清洗装置，其特征在于：包括台面倾斜设置的支撑台，所述支撑台的中心位置开设有滚动槽，滚动槽从高处到低处依次设置有放置工位、物理清洗工位、化学清洗工位和取出工位，所述放置工位上固定安装有用于推动单晶硅片的第一推动机构，所述物理清洗工位设置有用于阻挡单晶硅片的第一伸缩机构和用于顶出单晶硅片的第一顶出机构，所述化学清洗工位设置有用于阻挡单晶硅片的第二伸缩机构，所述取出工位设置有用于顶出单晶硅片的弹性顶出机构，所述支撑台的两侧对称地安装有第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板位于物理清洗工位的两侧对称地安装有物理清洗机构，第一侧板和第二侧板位于化学清洗工位的两侧对称地安装有化学清洗机构，所述第一推动机构、第一伸缩机构、第一顶出机构、第二伸缩机构、物理清洗机构和化学清洗机构均与PLC控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述第一侧板和第二侧板与位于取出工位的两侧分别固定安装有激光发射器和激光接收器，激光发射器和激光接收器相对设置，所述第一侧板和第二侧板位于取出工位的上方固定安装有第一横杆，第一横杆上固定安装有机械抓手，机械抓手、激光发射器和激光接收器均与PLC控制器电连接。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述支撑台的左右两侧均开设有排污槽，排污槽和滚动槽延伸至支撑台的外侧。

4.根据权利要求2所述的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述第一侧板和第二侧板位于放置工位的上方固定安装有第二横杆，第二横杆上固定安装有第一距离传感器，第一距离传感器的检测端对准放置工位；所述第一侧板和第二侧板位于物理清洗工位的上方固定安装有第三横杆，第三横杆上固定安装有第二距离传感器，第二距离传感器的检测端对准物理清洗工位；所述第一侧板和第二侧板位于化学清洗工位的上方固定安装有第四横杆，第四横杆上固定安装有第三距离传感器，第三距离传感器的检测端对准化学清洗工位，第一距离传感器、第二距离传感器和第三距离传感器均与PLC控制器电连接。

5.根据权利要求1所述的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述滚动槽对应物理清洗工位的位置开设有第一凹槽和第二凹槽，所述滚动槽对应化学清洗工位的位置开设有第三凹槽，所述滚动槽对应取出工位的位置开设有第四凹槽，第一伸缩机构固定安装于第一凹槽内，第一顶出机构固定安装于第二凹槽内，第二伸缩机构固定安装于第三凹槽内，弹性顶出机构固定安装于第四凹槽内。

6.根据权利要求5所述的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述第一伸缩机构包括第一升降驱动组件和第一挡板，第一升降驱动组件固定于第一凹槽内，第一升降驱动组件的驱动端与第一挡板固定连接；所述第一顶出机构包括第二升降驱动组件和第一顶板，第二升降驱动组件固定安装于第二凹槽内，第二升降驱动组件的驱动端与第一顶板固定连接；所述第二伸缩机构包括第三升降驱动组件和第二挡板，第三升降驱动组件固定安装于第三凹槽内，第三升降驱动组件的驱动端与第二挡板固定连接；所述弹性顶出机构包括压缩弹簧和第二顶板，压缩弹簧的一端与第四凹槽的底部固定连接，压缩弹簧的另一端与第二顶板固定连接；物理清洗机构包括第一伸缩组件、第一转动组件和清洗盘，第一伸缩组件与第一侧板或第二侧板固定连接，第一伸缩组件的驱动端与第一转动组件的固定端连接，第一转动组件的驱动端与清洗盘固定连接；化学清洗机构包括第二伸缩组件、固定板和多个喷头，第二伸缩组件的固定端与第一侧板或第二侧板固定连接，第二伸缩组件的驱动端与固定板固定连接，多个喷头固定安装于固定板上，多个喷头分别通过连接管与喷泵连接，第一升降驱动组件、第二升降驱动组件、第三升降驱动组件、第一伸缩组件、第一转动组件、第二伸缩组件和喷泵均与PLC控制器电连接。

7.根据权利要求6所述的单晶硅片清洗装置，其特征在于：所述第一挡板的两侧均固定安装有限位板。