[实用新型]一种晶圆传送盒

权利要求书

1.一种晶圆传送盒，包括盒体(2)，其特征在于：所述盒体(2)的上下端四周均固定连接有限位块(10)，所述限位块(10)的下端且相对于盒体(2)的上端两侧贯穿设置有固定孔(14)，所述盒体(2)的两侧均滑动连接有移动板(3)，所述移动板(3)的上端且相对于固定孔(14)的下方设置有固定槽(17)，所述固定槽(17)的内部设置有第一弹簧(16)，所述第一弹簧(16)的上端设置有移动块(15)，所述移动块(15)的上端固定连接有按压杆(13)，所述按压杆(13)的一端设置在固定孔(14)的内部，所述盒体(2)的一侧端口处滑动连接有环形块(4)，所述移动板(3)的一侧与环形块(4)固定连接，所述环形块(4)的上下端且相对于盒体(2)的端口处固定连接有支撑块(8)，所述支撑块(8)的内部设置有活动销轴(5)，所述活动销轴(5)的侧面固定连接有挡板(6)，所述挡板(6)的相对处固定连接有磁铁片(7)，所述盒体(2)的上下端中部均固定连接有固定板(11)，所述固定板(11)的上端固定连接有套筒(19)若干，所述套筒(19)的内壁滑动连接有支撑杆(18)，所述支撑杆(18)的侧面且相对于套筒(19)的端口设置与第二弹簧(20)，所述支撑杆(18)的一端固定连接有支撑板(12)，所述支撑板(12)的一端固定连接有弹性吸盘(1)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆传送盒，其特征在于：所述盒体(2)的后端设置有连接板(9)，所述连接板(9)的两侧均与移动板(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆传送盒，其特征在于：所述弹性吸盘(1)关于盒体(2)对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆传送盒，其特征在于：所述套筒(19)等间距排列设置。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆传送盒，其特征在于：所述挡板(6)对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆传送盒，其特征在于：所述挡板(6)的材质为柔性材料制成。