[实用新型]一种晶圆片铲片机构有效

专利信息
申请号: 202021817704.5 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN212967661U 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 姬煜;赵通 申请(专利权)人: 江苏无恙半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 代理人: 涂柳晓
地址: 221300 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶圆片铲片 机构
【权利要求书】:

1.一种晶圆片铲片机构,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶端固定连接有支撑板(2),所述支撑板(2)的上方设置有控制箱(14),所述支撑板(2)的内侧设置有运送区(15),所述底座(1)的底端固定连接有支腿(3),所述支腿(3)的一侧设置有电机(6),所述电机(6)的一端延伸设置有第一转轴(7),所述第一转轴(7)的一端固定连接有第一皮带轮(8),所述第一皮带轮(8)的侧壁设置有V型带(9),所述支撑板(2)的侧壁贯穿设置有第二转轴(11),所述第二转轴(11)的一端固定连接有第二皮带轮(10),所述第一皮带轮(8)与第二皮带轮(10)通过V型带(9)转动连接,所述第二转轴(11)的一端且在第二皮带轮(10)的一侧固定连接有齿轮(12),所述齿轮(12)的侧壁设置有链条(13),所述运送区(15)包括传送辊(16),所述传送辊(16)的顶端设置有载物板(18),所述载物板(18)的顶端设置有物料(20),所述控制箱(14)的底端固定连接有电气箱(28),所述控制箱(14)的顶端固定连接有连接杆(21),所述连接杆(21)的底端固定连接有气缸(22),所述气缸(22)的侧壁贯穿设置有伸缩杆(23),所述伸缩杆(23)的一端固定连接有转动盘(24),所述转动盘(24)的底端贯穿设置有抓手(25),所述抓手(25)的侧壁底端固定连接有斜铲(26)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片铲片机构,其特征在于:所述支腿(3)的底端固定连接有防滑板(4)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片铲片机构,其特征在于:所述电机(6)的侧壁固定连接有基座(5),所述基座(5)的底端与地面固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片铲片机构,其特征在于:所述传送辊(16)的两端固定连接有转动轴(17),所述转动轴(17)与齿轮(12)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片铲片机构,其特征在于:所述载物板(18)的侧壁固定连接有防撞垫(19),所述防撞垫(19)的数量有八个且分别固定在载物板(18)的侧壁两端。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片铲片机构,其特征在于:所述抓手(25)的底端固定连接有缓冲垫(27)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片铲片机构,其特征在于:所述斜铲(26)通过抓手(25)和转动盘(24)进行平移。

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