[实用新型]一种晶圆片铲片机构

说明书

本实用新型公开了一种晶圆片铲片机构，包括底座，所述底座的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的上方设置有控制箱，所述底座的底端固定连接有支腿，所述支腿的一侧设置有电机，所述支撑板的侧壁贯穿设置有第二转轴，所述第二转轴的一端固定连接有第二皮带轮和齿轮，所述运送区包括传送辊，所述传送辊的顶端设置有载物板，所述控制箱的底端固定连接有电气箱，所述控制箱的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的底端固定连接有气缸，所述气缸的侧壁贯穿设置有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定连接有转动盘，所述转动盘的底端贯穿设置有抓手，所述抓手的侧壁底端固定连接有斜铲。本实用新型中，可以自动高效的对晶圆片进行下片处理。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片铲片机构。

背景技术

元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

现有的晶圆片经加工后需要进行铲片处理，现有一般都是采用手动铲片，手动铲片效率较差，而且很容易损坏表面要求较高的晶圆片，从而影响成品率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆片铲片机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆片铲片机构，包括底座，所述底座的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的上方设置有控制箱，所述支撑板的内侧设置有运送区，所述底座的底端固定连接有支腿，所述支腿的一侧设置有电机，所述电机的一端延伸设置有第一转轴，所述第一转轴的一端固定连接有第一皮带轮，所述第一皮带轮的侧壁设置有V型带，所述支撑板的侧壁贯穿设置有第二转轴，所述第二转轴的一端固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮通过V型带转动连接，所述第二转轴的一端且在第二皮带轮的一侧固定连接有齿轮，所述齿轮的侧壁设置有链条，所述运送区包括传送辊，所述传送辊的顶端设置有载物板，所述载物板的顶端设置有物料，所述控制箱的底端固定连接有电气箱，所述控制箱的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的底端固定连接有气缸，所述气缸的侧壁贯穿设置有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定连接有转动盘，所述转动盘的底端贯穿设置有抓手，所述抓手的侧壁底端固定连接有斜铲。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述支腿的底端固定连接有防滑板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述电机的侧壁固定连接有基座，所述基座的底端与地面固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述传送辊的两端固定连接有转动轴，所述转动轴与齿轮固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述载物板的侧壁固定连接有防撞垫，所述防撞垫的数量有八个且分别固定在载物板的侧壁两端。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述抓手的底端固定连接有缓冲垫。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述斜铲通过抓手和转动盘进行平移。

本实用新型具有如下有益效果：

1、与现有技术相比，本实用新型设置有自动对晶圆片进行铲片装置，通过控制箱、伸缩杆，转动盘以及斜铲可以自动完成对晶圆片的作业，使工作效率得到提高。