[实用新型]一种晶圆喷砂机

权利要求书

1.一种晶圆喷砂机，包括装置主体(1)、喷砂罐(17)、第一带轮(13)，其特征在于：所述装置主体(1)的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆(2)，且转动杆(2)与第一带轮(13)相连，所述转动杆(2)的一端固定连接有调节箱(3)，所述调节箱(3)的内部设置有移动板(5)，所述移动板(5)的侧壁固定连接有连接杆(6)，所述调节箱(3)的内底部固定连接有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端固定连接有第一转轴(9)，所述第一转轴(9)的顶部固定连接有调节轮(10)，所述装置主体(1)的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机(14)，所述第二电机(14)的输出端固定连接有第二转轴(4)，所述第二转轴(4)远离第二电机(14)的一端固定连接有第二带轮(15)，所述装置主体(1)的底部设置有聚流斗(24)，所述聚流斗(24)的底部设置有连接管(25)，所述连接管(25)远离聚流斗(24)的一端固定连接有分离机构(26)，所述喷砂罐(17)的一端设置有输送管(19)，所述输送管(19)远离喷砂罐(17)的一端延伸至装置主体(1)的内部并固定连接有喷砂枪(20)，所述装置主体(1)的内侧壁设置有风机(21)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述连接杆(6)远离移动板(5)的一端贯穿调节箱(3)并固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的表面开设有凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述调节轮(10)为凸轮结构，所述调节轮(10)的位置与移动板(5)的位置相对应，所述移动板(5)的侧壁且位于连接杆(6)的两侧均固定连接有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)远离移动板(5)的一端与调节箱(3)的侧壁固定连接，所述伸缩杆(11)的外表面设置有辅助弹簧(12)，所述辅助弹簧(12)的两端分别与移动板(5)、调节箱(3)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述分离机构(26)包括箱体(260)，所述箱体(260)的内部开设有第一腔室(261)、第二腔室(262)，所述第一腔室(261)与第二腔室(262)之间设置有过滤网(263)，所述第一腔室(261)与连接管(25)相连通。

5.根据权利要求1或4所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述分离机构(26)远离连接管(25)的一端设置有两个排料口(27)，且排料口(27)分别与第一腔室(261)与第二腔室(262)相对应，所述分离机构(26)为倾斜向下设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述喷砂罐(17)的表面合适有多个控制阀(18)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述装置主体(1)的侧壁固定连接有集尘袋(22)，所述集尘袋(22)与风机(21)的位置相对应，所述装置主体(1)的内侧壁且位于风机(21)的外侧固定连接有防护罩(23)，所述防护罩(23)为网状结构。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述第一带轮(13)与第二带轮(15)位于同一竖直平面，所述第一带轮(13)与第二带轮(15)通过皮带(16)传动连接。