[实用新型]一种晶圆喷砂机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆喷砂机，涉及晶圆加工领域。该晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐、第一带轮，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，且转动杆与第一带轮相连，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机。通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种晶圆喷砂机。

背景技术

喷砂处理，是一种工件表面处理的工艺。采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料(铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海砂)高速喷射到需处理工件表面，使工件表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善。

在晶圆的生产加工中会涉及到喷砂处理，喷砂处理又少不了喷砂机的使用，但是，以往所使用的喷砂机设置的除尘装置将砂石与碎石共同吸收，因此，当对砂石再次利用时会影响后期喷砂处理加工的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆喷砂机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，且转动杆与第一带轮相连，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴远离第二电机的一端固定连接有第二带轮，所述装置主体的底部设置有聚流斗，所述聚流斗的底部设置有连接管，所述连接管远离聚流斗的一端固定连接有分离机构，所述喷砂罐的一端设置有输送管，所述输送管远离喷砂罐的一端延伸至装置主体的内部并固定连接有喷砂枪，所述装置主体的内侧壁设置有风机。

优选的，所述连接杆远离移动板的一端贯穿调节箱并固定连接有固定块，所述固定块的表面开设有凹槽。

优选的，所述调节轮为凸轮结构，所述调节轮的位置与移动板的位置相对应，所述移动板的侧壁且位于连接杆的两侧均固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离移动板的一端与调节箱的侧壁固定连接，所述伸缩杆的外表面设置有辅助弹簧，所述辅助弹簧的两端分别与移动板、调节箱固定连接。

优选的，所述分离机构包括箱体，所述箱体的内部开设有第一腔室、第二腔室，所述第一腔室与第二腔室之间设置有过滤网，所述第一腔室与连接管相连通。

优选的，所述分离机构远离连接管的一端设置有两个排料口，且排料口分别与第一腔室与第二腔室相对应，所述分离机构为倾斜向下设。

优选的，所述喷砂罐的表面合适有多个控制阀。

优选的，：所述装置主体的侧壁固定连接有集尘袋，所述集尘袋与风机的位置相对应，所述装置主体的内侧壁且位于风机的外侧固定连接有防护罩，所述防护罩为网状结构。

优选的，所述第一带轮与第二带轮位于同一竖直平面，所述第一带轮与第二带轮通过皮带传动连接。

本实用新型具有如下有益效果：

1、与现有技术相比，该晶圆喷砂机，通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。